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產(chǎn)品報(bào)價(jià)： ￥888元

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產(chǎn)品熱度：加載中

品　　牌：晨立

產(chǎn)品型號(hào)：cl

制造廠商：晨立

適用范圍：高教 職教

所在地區(qū)：山東 青島 即墨

　　用途：

　　該設(shè)備用于半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)工藝過(guò)程中，在可控磁場(chǎng)中實(shí)現(xiàn)真空退火、真空合金、真空晶化等工藝。該系統(tǒng)具有精確的磁場(chǎng)強(qiáng)度和溫度控制系統(tǒng)和高真空系統(tǒng)。

　　主要技術(shù)參數(shù)：

　　◆結(jié)構(gòu)型式：臥式熱壁型

　　◆工作溫度范圍：500度，700度，1100度。

　　◆恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度：±0.5℃/800mm

　　◆氣體流量設(shè)定精度:±1％F.S

　　◆氣路系統(tǒng)氣密性： 1×10-7pa.m3/s

　　◆工藝均勻性:≤±5％

　　◆控制方式： 工業(yè)微機(jī)控制

　　◆真空度： 5*10-4 Pa

　　◆記錄工藝曲線數(shù)量及工藝步數(shù)不受限制