晶圓真空退火爐主要用于半導(dǎo)體晶圓在高真空環(huán)境下的低溫退火。
尺寸：4-8英寸晶圓
晶圓舟：標(biāo)準(zhǔn)25片
控溫精度：±3℃
升溫速率：10℃/min
潔凈等級：百級潔凈
真空度：5*10-4 Pa
使用溫度：200-550度
