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高校、硅材料實(shí)驗(yàn)室、微電子專業(yè)高溫氧化爐

高校、硅材料實(shí)驗(yàn)室、微電子專業(yè)高溫氧化爐
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產(chǎn)品報(bào)價(jià): 888
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加載中
晨立
cl
高教 職教 基教
山東 青島 即墨
詳細(xì)說明

  用途:

  主要用于各大高校、硅材料實(shí)驗(yàn)室、及微電子專業(yè)對(duì)半導(dǎo)體6寸及以下硅片的高溫?cái)U(kuò)散、氧化(濕氧)、退火、燒結(jié)合金工藝的教學(xué)和實(shí)驗(yàn)工作。

  1.1、工作溫度:400-1300℃

  1.2、恒溫區(qū)長度及精度: 300mm  /±0.5℃(可選)

  1.3、爐管數(shù):一、二、三、四管(可選)

  1.4、適應(yīng)硅片尺寸: 6寸及向下兼容

  1.5、送取片方式:自動(dòng)或手動(dòng)(可選)

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