FT1000SA系列MEMS三軸電容加速度傳感器
一、傳感器特點(diǎn)：
FT1000SA三軸MEMS三軸電容加速度傳感器由本公司自行研制，用于測(cè)量單軸加速度的傳感器。它采用高精度MEMS芯片，具有BIMOS信號(hào)限制電路。設(shè)計(jì)考慮多用戶的需求，制造采用表貼工藝技術(shù)。具有高可靠性和高封裝堅(jiān)固性。
本產(chǎn)品可用于汽車測(cè)控、慣性導(dǎo)航、飛行器安全系統(tǒng)、地震監(jiān)控、傾斜、速度和位置的慣性、振動(dòng)和沖擊試驗(yàn)臺(tái)加速度的測(cè)量等系統(tǒng)中。
二、產(chǎn)品性能
靈敏度（20±5℃） | X Y Z:～40-20mv/g |
測(cè)量范圍（峰值） | 50~100 g |
橫向靈敏度 | ≤1 ％ |
頻率響應(yīng)（±5%） | DC ～12000 Hz |
安裝諧振頻率 | 25,000 Hz |
頻譜噪聲 | 25 μg/√Hz |
工作溫度范圍 | -40～+120 ℃ |
溫度響應(yīng) | 見溫度曲線 |
極性 | 正向 |
溫度靈敏度穩(wěn)定性 | 5% |
磁靈敏度 | 2 g/T |
線性度為滿度范圍 | ±0.1% |
安裝 | M5螺釘/安裝座/磁座 |
敏感材料 | MEAS芯片 |
殼體材料 | 鈦合金 |
重量 | 13g |
輸出方式 | 九芯插頭/5線制 |
供電電壓 | DC7-12V |
配套件 | |
傳感器合格證 | 標(biāo)定參數(shù)、頻響曲線 |
M5螺栓/安裝座 | 一套 |
9芯/（2 米） | 1根 |
FT1000SA系列MEMS電容三軸加速度傳感器是建造在硅晶片頂部的表面MEMS多硅結(jié)構(gòu)。多晶硅簧片懸浮在晶片表面的結(jié)構(gòu)，并提供一個(gè)克服加速度感應(yīng)力的阻力。用包含兩個(gè)獨(dú)立的固定板和一個(gè)與運(yùn)動(dòng)質(zhì)塊相連的中央板形成的差動(dòng)電容器機(jī)構(gòu)來(lái)測(cè)量比例于加速度的多硅結(jié)構(gòu)的偏轉(zhuǎn)，從而產(chǎn)生電壓輸出信號(hào)。
