2013年河北工業(yè)大學承擔的國家02重大專項，以優(yōu)秀成績通過國家驗收。該專項是國家科技中長期發(fā)展規(guī)劃“極大規(guī)模集成電路平坦化工藝與材料”重大專項項目，獲國家3265.8萬元經(jīng)費資助。
項目以實現(xiàn)極大規(guī)模集成電路(GLSI)多層布線表面的高平整度、低粗糙度、低缺陷密度和高潔凈度為目標，以130-65nm及其以下的超大規(guī)模集成電路CMP材料與工藝為主攻方向，開展具有自主知識產(chǎn)權(quán)的多種CMP拋光材料與CMP后清洗劑以及相關(guān)工藝技術(shù)的研發(fā)， 采用新型電—化學CMP后清洗技術(shù)，實現(xiàn)多層布線CMP中要求愈來愈高的干進干出的表面高潔凈化，達到低排放、節(jié)能、節(jié)水等環(huán)保要求。該項目對我國構(gòu)建現(xiàn)代產(chǎn)業(yè)體系、發(fā)展低碳經(jīng)濟具有十分重要的意義。
專家組認為該校承擔的項目各項技術(shù)指標達到世界前列。同時，該校項目團隊被評為國家年度優(yōu)秀團隊，在承擔此專項的138個團隊中，僅有5個團隊獲此殊榮。自2009年獲得國家第一期資助資金3265萬元開始建設(shè)以來，該項目不僅順利完成了各項任務(wù)指標，并且在多個方面取得了突破和創(chuàng)新，創(chuàng)建了國內(nèi)首個化學機械平坦化研發(fā)中心，成為擁有近千平米超凈實驗室和超過千萬元實驗設(shè)備的材料超精密加工技術(shù)研發(fā)與人才培養(yǎng)創(chuàng)新平臺;累計獲得授權(quán)發(fā)明專利44項，其中國內(nèi)發(fā)明專利41項，國際發(fā)明專利3項。
兩專項總體組領(lǐng)導、任務(wù)驗收組專家、財務(wù)驗收組專家、校領(lǐng)導及學?？茖W技術(shù)研究院、財務(wù)處、信息工程學院等單位負責人參加了驗收會議。驗收會議由02專項技術(shù)總師中科院微電子研究所所長葉甜春主持。
會上，展永校長代表學校致辭。項目負責人劉玉嶺教授代表項目承擔單位做了工作報告。與會專家一致認為，項目組全面完成了合同規(guī)定的各項研究內(nèi)容和任務(wù)目標，達到合同規(guī)定的技術(shù)考核指標，并取得了多項自主知識產(chǎn)權(quán)。研發(fā)出的低壓低磨料和高化學機械平坦化速率的拋光液，具有為微電子技術(shù)進一步發(fā)展提供新型化學機械平坦化材料的潛力，推動了我國極大規(guī)模集成電路平坦化行業(yè)的科技進步和產(chǎn)業(yè)化發(fā)展，一致同意通過驗收。
在為期三天的驗收工作中，任務(wù)驗收組和財務(wù)驗收組分組開展驗收工作。任務(wù)驗收專家組通過資料審查、現(xiàn)場測試、平臺檢查、質(zhì)疑答辯等環(huán)節(jié)，最終討論形成了任務(wù)驗收專家組意見。財務(wù)驗收組查看課題財務(wù)收支執(zhí)行情況報告，審查審計報告、預(yù)算執(zhí)行情況報告、財務(wù)管理制度等，通過抽查財務(wù)資料、質(zhì)疑答辯等環(huán)節(jié)，最終經(jīng)討論形成了財務(wù)驗收專家組意見。
