位移臺(tái)的誤差在裝配完后，在固定的環(huán)境條件下，基本已經(jīng)不變了。若要減少位移臺(tái)的誤差，必須找出影響位移臺(tái)的各項(xiàng)誤差來源。誤差源主要包括原理誤差、制造誤差、運(yùn)行誤差。
原理誤差是由于應(yīng)用的工作原理的理論不完善或采用了近似理論所造成的誤差。制造誤差是指在制造過程中位移臺(tái)中各零件產(chǎn)生的誤差。在設(shè)計(jì)零件時(shí)，應(yīng)注意遵守基面統(tǒng)一原則，減少制造誤差。運(yùn)行誤差是指在位移臺(tái)運(yùn)行過程中由于零件的變形、零件之間的摩擦、溫度等引起的誤差。如圖(2)為位移臺(tái)中的誤差源。
圖2 位移臺(tái)的誤差源
Fig.2 Error Sources of Displacement Instrument
位移臺(tái)的定位精度誤差計(jì)算分析
以運(yùn)行誤差的來源為依據(jù)、精度分析為指南。采用逐步接近法，合理分配精度。如圖(3)為位移臺(tái)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化圖。
圖3 位移臺(tái)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖
Fig.3 Structure Sketch of Displacement Instrument
工作臺(tái)精度方程與不確定方程[9]為：
(1)式中第一項(xiàng)步進(jìn)電機(jī)精度對(duì)工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)精度影響;第二項(xiàng)為定位絲杠的影響。
精度傳遞函數(shù)分別為：
結(jié)構(gòu)參數(shù)精度
