隨著科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展，現(xiàn)代工業(yè)產(chǎn)品的生產(chǎn)和現(xiàn)代化科學(xué)實驗活動對室內(nèi)空氣潔凈度的要求越來越高，特別是微電子、醫(yī)療、化工、生物、食品加工等行業(yè)都要求 有微型化、精密化、高純度、高質(zhì)量和高可靠性的室內(nèi)環(huán)境，實現(xiàn)這一目標(biāo)的主要途徑是在潔凈空調(diào)系統(tǒng)中廣泛使用空氣過濾器。其中高效(HEPA)和超高效(ULPA)過濾器是塵粒進(jìn)入潔凈室的最后一道防護(hù).它的性能優(yōu)劣直 接關(guān)系到潔凈室等級，進(jìn)而影響工藝過程和產(chǎn)品質(zhì)量。
為此，許多國家制訂和頒布性能試驗方法的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)：美國軍事委員會于1956年制定了軍用標(biāo)準(zhǔn)MIL—STD一282，采用DOP(鄰苯二甲酸二辛酯)法，即用前向光散射式光度計檢測過濾器前后氣樣的濁度比來計算過濾器的過濾效率，此標(biāo)準(zhǔn)未作大的變更一直沿用至今;1965年英國制定的BS3928標(biāo)準(zhǔn)采用了鈉焰法.檢測儀器為火焰光度計，1973歐洲的EUROVENT4/4標(biāo)準(zhǔn)沿用了這種方法;我國于1985年頒布了GB6166—85《高效空氣過濾器性能實驗方法》，將油霧法和鈉焰法同時作為法定的性能 試驗方法;日本工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)JISB 1高效過濾器的性能試驗方法1.1高效過濾器的效率檢測由前述可知。
高效過濾器的效率檢測方法多種多樣，但歷經(jīng)半個多世紀(jì)的發(fā)展和演變，目前影響較大、使用范圍較廣的有：DOP法、粒子計數(shù)法和最易穿透粒徑t(MPPS)法。
1 DOP法是指熱生成(凝結(jié)法)DOP氣溶膠加光度計測量法。該法最先由美國提出：將DOP液體加熱成蒸氣，蒸氣在特定條件下冷凝成微小液滴，去掉過大和過小的液滴后留下0.3“m左右的單分散相氣溶膠顆粒，霧狀DOP進(jìn)入風(fēng)道，后用光散射式光度計(Light—scattering photometer) 檢測過濾器前后氣樣的濁度比來計算過濾器的過濾效率。
2 粒子計數(shù)法 粒子計數(shù)法以粒子計數(shù)器作為檢測儀器，塵源采用單分散或多分散氣溶膠。多分散氣溶膠是通過噴霧法(冷生成)產(chǎn)生的，膠源有時也應(yīng)用DOP粒子，與熱生成DOP粒子相比.它們的材料相同，但分散度和檢測方法均不相 9927：1999《潔凈室用空氣過濾器性能試驗方法》中采取粒子計數(shù)法對高效過濾器進(jìn)行檢測;歐洲在1998—2000年制定了BSEN一1822標(biāo)準(zhǔn)，采用最易透過粒徑(MPPS)法檢測過濾器的過濾效率。下文將從效率測試、檢漏以及氣溶膠源等方面分析并比較國內(nèi)外的多個標(biāo)準(zhǔn)，并著重討論高效過濾器性能測試過程中存在的問題，指出該領(lǐng)域今后研究和發(fā)展的方向。
