您的實(shí)驗(yàn)室一定需要它------新型掃描電鏡樣品制備系統(tǒng)

　　您是否為了一個(gè)EBSD樣品而泡在實(shí)驗(yàn)室一整天，但最終還是達(dá)不到EBSD樣品的標(biāo)定率而苦惱?

　　您是否為了一個(gè)截面樣品制備而小心翼翼，但最終還是無(wú)法看到截面樣品信息而苦惱?

　　您是否還為了一個(gè)孔隙結(jié)構(gòu)樣品被機(jī)械拋光操作時(shí)填滿孔隙結(jié)構(gòu)，而無(wú)法判定樣品的真實(shí)信息而苦惱?

　　如果是，那您一定需要它：

　　它就是GATAN Ilion II 697氬離子束拋光系統(tǒng)，該款設(shè)備是在Gatan公司經(jīng)典的691離子減薄儀技術(shù)上發(fā)展而來(lái)。它的問(wèn)世改變了此前人們用手動(dòng)或機(jī)械研磨的方法對(duì)樣品進(jìn)行研磨拋光的局限性。利用氬離子精密拋光裝置，可以獲得平滑的截面和平面，而不會(huì)對(duì)樣品造成機(jī)械損害，是掃描電鏡樣品制備的新型手段，目前已經(jīng)廣泛應(yīng)用于全球各大高?？蒲性核?。

　　可利用 IlionII 697 進(jìn)行拋光加工的材料種類十分廣泛，包括由多元素組成的試樣，以及

　　具有不同的機(jī)械硬度、尺寸和物理特性的合金、半導(dǎo)體材料、聚合物和礦物等。

　　具體應(yīng)用領(lǐng)域有：• EBSD 樣品

　　• 光伏、半導(dǎo)體

　　• 金屬(氧化物, 合金)

　　• 陶瓷

　　• 地質(zhì)樣品，油頁(yè)巖

　　• 高分子，聚合物

　　• CL

　　典型應(yīng)用案例：

　　一、 EBSD樣品制備

　　氬離子束拋光是利用高電流密度的氬離子束對(duì)樣品進(jìn)行減薄，氬離子相對(duì)鎵離子來(lái)說(shuō)非常輕，產(chǎn)生的應(yīng)力層、非晶層非常薄，可以避免由于制樣方法對(duì)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)產(chǎn)生的誤導(dǎo)，同時(shí)由于晶格畸變較小，可以提高 EBSD的標(biāo)定率，降低標(biāo)定參數(shù)，從而有效提高標(biāo)定效率，節(jié)約時(shí)間。以下三幅圖片試樣采用 Ilion II在 1 kV的條件下進(jìn)行拋光后，在 20 kV條件下得到的碳化鎢 /鈷樣品的 EBSD結(jié)果，其中的鈷沒(méi)有發(fā)生 FCC到 HCP的相變。(照片由英國(guó)曼切斯特大學(xué) A Gholinia博士提供)。

　　二、頁(yè)巖樣品制備

　　SEM圖像，視野：1mm x 600 microns， 可見(jiàn)小至4nm的孔隙

　　三、新能源鋰離子電池

有機(jī)薄膜

陽(yáng)極 陰極

粉末樣品截面

　　四、半導(dǎo)體行業(yè)-PCB板

　　五、Si基太陽(yáng)能電池

　　歐波同公司DEMO實(shí)驗(yàn)中心目前配置了該款氬離子拋光設(shè)備，歡迎前來(lái)做樣體驗(yàn)!