2018年10月，Swisslitho 3D納米結(jié)構(gòu)高速直寫機(jī)NanoFrazor Scholar在復(fù)旦大學(xué)張遠(yuǎn)波教授課題組成功安裝。張遠(yuǎn)波教授是二維材料研究領(lǐng)域的國(guó)際學(xué)者，由于很多二維材料都對(duì)空氣中的氧氣和水蒸氣很敏感，所以整個(gè)制備過(guò)程需要在手套箱惰性氣氛保護(hù)下完成制備，這樣做既可以大程度地保護(hù)樣品，又可以減少不必要的轉(zhuǎn)移工序。有鑒于此，Swisslitho公司提供了一整套的手套箱集成方案，實(shí)現(xiàn)原位表面結(jié)構(gòu)刻蝕和實(shí)時(shí)形貌表征，的契合了張遠(yuǎn)波教授的要求。
圖1：完成安裝及調(diào)試后手套箱中的
3D納米結(jié)構(gòu)高速直寫機(jī)NanoFrazor Scholar設(shè)備
整個(gè)安裝過(guò)程非常順利，在3D納米結(jié)構(gòu)高速直寫機(jī)NanoFrazor Scholar完成安裝的當(dāng)周內(nèi)，YU Yijun博士利用該設(shè)備探測(cè)表面覆蓋超過(guò)300nm光刻膠的三層堆疊石墨烯，并在其上完成電圖形的書寫。去膠之后的電學(xué)測(cè)量結(jié)果顯示其已經(jīng)表現(xiàn)為個(gè)功能性器件。
NanoFrazor3D納米結(jié)構(gòu)高速直寫機(jī)的加工過(guò)程具有直接性、低損傷和高速等特點(diǎn)，這些都對(duì)張教授的研究具有大的幫助。我們期待未來(lái)能夠與課題組進(jìn)一步緊密溝通合作，共同完成高速直寫實(shí)驗(yàn)，不斷增強(qiáng)微納制備流程的高效性。
圖2： (a) 手套箱中完成安裝的NanoFrazor Scholar設(shè)備。
人員介紹（從左到右）：Simon Bonanni博士，DENG Yujun，YU Yijun博士。
(b) 由NanoFrazor Scholar探測(cè)獲得的光刻膠層下的石墨烯片層形貌。
(c) 由NanoFrazor Scholar直接書寫并去膠剝離后的石墨烯片層上電結(jié)構(gòu)形貌。
(d) 石墨烯電結(jié)構(gòu)的電學(xué)測(cè)量結(jié)果。
客戶反饋：
“我們利用NanoFrazor Scholar來(lái)實(shí)現(xiàn)在手套箱內(nèi)對(duì)精巧的二維材料表面制備電。NanoFrazor可以定位二維材料，并且可以實(shí)時(shí)快速反饋整個(gè)刻蝕過(guò)程，這些功能對(duì)我們來(lái)說(shuō)是非常重要的，我們可以利用NanoFrazor快捷地完成高質(zhì)量實(shí)驗(yàn)器件的制備?！?/p>
復(fù)旦大學(xué)張遠(yuǎn)波教授
