由英國皇家科學院院士、劍橋大學卡文迪許實驗室Russell Cowburn教授親自設計并研發(fā)的小型臺式無掩膜激光直寫儀（MicroWriter ML3, Durham Magneto Optics, Ltd.）于近日在深圳大學成功安裝并應用。該無掩膜光刻系統(tǒng)具有操作靈活、結構小巧（70 cm × 70 cm × 70 cm）、直寫速度快、分辨率高（< 1 um）等特點。直寫時無需掩膜版，可利用畫圖軟件直接設計版圖進行直寫曝光。同時，MicroWriter售價及維護成本低，應用操作具人性化，可為光機電、微流控和半導體等領域的實驗室提供優(yōu)質的微加工解決方案。
經(jīng)過不斷的升和發(fā)展，MicroWriter目前在中國已有近50多家用戶群體，包括清華大學、北京大學、中國科學院、南京大學、復旦大學、中國科技大學、華中科技大學等在內的高校研究所，研究領域涵蓋材料、物理、化學、機械、光電子等各個領域。
圖1. （左）安裝在深圳大學的小型無掩膜激光直寫系統(tǒng)（MicroWriter ML3 Baby）；（右）由MicroWriter直寫完成的“圣誕祝?！逼毓饨Y果
圖2. 利用該小型激光直寫系統(tǒng)（MicroWriter ML3 pro）制備的超精細線條（~ 0.6μm）陣列曝光結果（其中標尺大小為10μm）
圖3. 利用MicroWriter可以實現(xiàn)準3D的灰度曝光（0 – 255階），左圖為實現(xiàn)灰度曝光的設計版圖，右圖為實際的曝光結果（曝光圖形實際尺寸為500μm × 500μm）
相關參考：
1. 小型無掩膜光刻直寫系統(tǒng)：http://www.buyu5683.com/product/20160315755.shtml
2. 英國皇家科學院院士、劍橋大學教授Russell Cowburn介紹：https://www.phy.cam.ac.uk/directory/cowburnr
