LBIC 光束誘導(dǎo)電流成像系統(tǒng)采用振鏡掃描技術(shù)，對(duì)樣品表面做快速掃描。產(chǎn)生的光電流信號(hào)通過(guò)探針引到源表，再顯示在軟件界面，用三維圖顯示樣品表面在同一個(gè)光強(qiáng)下電流分布，以此推算樣品的光電轉(zhuǎn)換均勻性和材料的缺陷分布。
光束誘導(dǎo)電流成像系統(tǒng)是用于檢測(cè)材料光電流強(qiáng)度分布的專(zhuān)用設(shè)備，主要用來(lái)測(cè)量光電材料的光電響應(yīng)信號(hào)和表征材料 的光電特征。光束誘導(dǎo)電流成像系統(tǒng)將光電材料對(duì)于光信號(hào)響應(yīng)的不均勻性以可視化和量化的方式顯示出來(lái)。該系統(tǒng)可以研 究光電探測(cè)器的量子效率，器件的電阻分布特征，研究太陽(yáng)能電池光生電流的不均勻性，研究器件吸收和電荷生成的微區(qū)特性， 以及光電材料界面，半導(dǎo)體結(jié)區(qū)的品質(zhì)分布等。
整個(gè)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)包含光源（激光器或者連續(xù)光源），顯微鏡，掃描振鏡，數(shù)字源表，探針臺(tái)和計(jì)算機(jī)軟件等。激光通過(guò)掃 描透鏡，掃描振鏡，成像透鏡，經(jīng)過(guò)顯微鏡聚焦到樣品表面，激光激發(fā)樣品產(chǎn)生光電流，光電流信號(hào)通過(guò)探針引出至源表， 再通過(guò)電腦在軟件中讀出，掃描時(shí)振鏡是通過(guò)電壓控制器控制光束的偏轉(zhuǎn)角度，激光的光斑在樣品的 XY 方向上掃描移動(dòng)， 軟件記錄每一個(gè)激光聚焦光斑的位置和其對(duì)應(yīng)的電流值，在軟件上同步描繪出光電流成像圖，顯示樣品的電流分布。
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功能簡(jiǎn)介
產(chǎn)品特點(diǎn)
● 多路激光波長(zhǎng)可選
● 樣品位置二維可調(diào)，實(shí)現(xiàn)快速換樣
● 整體探針位置二維可以移動(dòng)，方便測(cè)試樣品的不同位置
● 樣品在靜止情況下實(shí)現(xiàn)mapping掃描，消除電移 臺(tái)的震動(dòng)的影響
● 可視化和人性化軟件（測(cè)試區(qū)間位置通過(guò)框圖的 方式選取，實(shí)現(xiàn)了可視范圍即掃描范圍）
應(yīng)用領(lǐng)域
● 納米材料
● 二維材料
● 晶圓分析
● 探測(cè)器光電性能檢測(cè)
● 面陣探測(cè)器pixel檢測(cè)
● 器件電荷生成的微區(qū)特性
……
基本參數(shù)
| 激光器（光源） | ●標(biāo)配532nm激光器，穩(wěn)定性1%@4小時(shí) ●可選配2路激光器用于光電流測(cè)試 |
| 顯微鏡模塊 | ●LED照明 ●物鏡：標(biāo)配（20X，WD=7.5） 超長(zhǎng)工作距離 ●掃描范圍：300 x 200μm （20x物鏡下） ●分辨率：小于150nm ●重復(fù)性：小于1μm |
| 數(shù)據(jù)采集 | ●電流源表：Keithley 2450 ●測(cè)量范圍：1nA – 1A ●暗噪聲：50pA ●分辨率：20fA ●準(zhǔn)確度：0.04% |
| 探針臺(tái)模塊 | ●直徑65mm真空吸附卡盤(pán) ●探針座和樣品整體二維移動(dòng)，方便樣品位置與光斑位置重合 ●樣品位置單獨(dú)二維移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)快速更換樣品 ●探針座：XYZ行程12mm，分辨率0.7μm ●探針：鎢針，直徑5μm，10μm，20μm可選 |
| 軟件 | ●光電流mapping：可以設(shè)定固定的電壓，逐點(diǎn)獲取電流值 ●I-V曲線mapping：可以設(shè)定指定的電壓區(qū)間，逐點(diǎn)獲取I-V曲線 ●框圖指定區(qū)域mapping掃描 |
產(chǎn)品圖示
探針臺(tái)模塊
軟件測(cè)試樣品圖示
軟件測(cè)試樣品圖示
產(chǎn)品視頻
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