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晶圓加工精度控制的關(guān)鍵！Yaw偏航角追蹤的閉環(huán)XY方向控制

近年來，半導(dǎo)體行業(yè)飛速發(fā)展，節(jié)點技術(shù)不斷縮小，EUV（紫外）和電子束技術(shù)成為佳選擇，對例如晶圓，光罩，光束對準(zhǔn)，光學(xué)元件，反射鏡等的納米加工要求也逐步提升。尤其是對...

2022-07-26 圍觀1071次 [技術(shù)]

ETH Zurich Norris教授課題組：3D納米直寫技術(shù)助力任意形貌六方氮化硼（hBN）納米3D結(jié)構(gòu)的制備

【引言】六方氮化硼（hBN）單晶納米片的原子平滑表面，為光電應(yīng)用領(lǐng)域帶來了革命性的突破。在納米光學(xué)方面，hBN的強非線性、雙曲線色散和單光子發(fā)射等特性，為相應(yīng)的光學(xué)和...

2021-06-16 圍觀7135次 [前沿]

掃描熱探針刻寫技術(shù)-綜述

本文轉(zhuǎn)載自微系統(tǒng)與納米工程Thermalscanningprobelithography—areviewSamuelTobiasHowell,AnyaGrushina,FelixHolznerJuergenBrugger(MicrosystemsLaboratory,écolePolyte...

2020-06-01 圍觀13541次 [應(yīng)用]

快速制備點接觸量子點硅基晶體管

制造高品質(zhì)的固態(tài)硅基量子器件要求高分辨率的圖形書寫技術(shù)，同時要避免對基底材料的損害。來自IBM實驗室的Rawlings等人利用SwissLitho公司生產(chǎn)的3D納米結(jié)構(gòu)高速直寫機NanoF...

2019-02-26 圍觀450次 [應(yīng)用]

nano-Dog突破納米加工尺寸限

近期，瑞士swisslitho公司利用3d納米高速直寫設(shè)備完成了nano-dog賀卡的制作，尺寸僅有9.2mx5.5m，z軸精度1nm，突破了納米加工尺寸的限，是目前精度高的納米賀卡。喜氣洋洋的旺旺狗，體現(xiàn)了這款設(shè)...

2018-03-09 圍觀514次 [方案]

T-SPL納米加工雙高斯凸透鏡DBR光學(xué)微腔

導(dǎo)|讀近期，瑞士IBM蘇黎世研發(fā)中心的Colin博士和Swisslitho公司的Martin博士利用熱掃描探針(T-SPL)納米加工技術(shù)，配合干法蝕刻解決方案實現(xiàn)了相互作用微腔(兩個相鄰的光學(xué)微腔)，并對微腔距離進...

2018-02-06 圍觀825次 [應(yīng)用]

NanoFrazor 3D納米高速直寫技術(shù)研討會舉辦

畢加索名畫及納米線套刻工藝數(shù)秒呈現(xiàn)為便于國內(nèi)外科研學(xué)者交流新納米結(jié)構(gòu)研究成果，共同推動納米加工學(xué)科和新技術(shù)的蓬勃發(fā)展。2017年6月23日，QuantumDesign中國子公司與北京航空航天大學(xué)國際交...

2017-06-28 圍觀892次 [名企]

全球小的三維納米雄雞賀卡 NanoFrazor專業(yè)定制

金雞報曉已迎春，元宵臨近聚福門，QuantumDesignChina恭祝大家新春愉快，元宵吉祥。上圖這幅立體逼真的畫作是QuantumDesignChina專為您打造的新年特別禮物。看到圖像右面的坐標(biāo)軸，是不是很驚訝...

2017-02-06 圍觀791次 [簡訊]

NanoFrazor獻上微納結(jié)構(gòu)加工的圣誕祝福

3DChristmascardmadebytheNanoFrazorinPPAresist.Thedimensions:12m*7m,depthfrom0to60nm這幅圣誕賀卡的整個畫面尺寸僅有12m*7m，厚度僅有60nm，圖中MerryChristmas字跡清晰且格外流暢，風(fēng)景刻畫...

2016-12-26 圍觀708次 [簡訊]

NanoFrazor——納米加工新技術(shù)攻略

科學(xué)技術(shù)不斷發(fā)展的時代，功能結(jié)構(gòu)的微納米化不僅可以帶來能源與原材料的節(jié)省，同時可以實現(xiàn)多功能的高度集成和生產(chǎn)成本的大大降低。微納米加工技術(shù)主要分為直接加工技術(shù)和圖形轉(zhuǎn)移技術(shù)。直接加...

2016-09-13 圍觀947次 [前沿]

國家重點支持高新技術(shù)領(lǐng)域——儀器檢測類

為加大對科技型企業(yè)特別是中小企業(yè)的政策扶持，有力推動大眾創(chuàng)業(yè)、萬眾創(chuàng)新，培育創(chuàng)造新技術(shù)、新業(yè)態(tài)和提供新供給的生力軍，促進解決升級發(fā)展，科技部、財政部、國家稅務(wù)總局對《高新技術(shù)企業(yè)認(rèn)...

2016-02-18 圍觀504次 [分析]

2012年復(fù)雜流體流變學(xué)學(xué)術(shù)研討會將于7月22-24日在浙大召開

為推動我國流變學(xué)理論與應(yīng)用研究的發(fā)展，由浙江大學(xué)高分子復(fù)合材料研究所和上海交通大學(xué)流變學(xué)研究所共同主辦的2012年復(fù)雜流體流變學(xué)學(xué)術(shù)研討會即將于7月22-24日期間在浙江大學(xué)高分子大樓228報告...

2012-07-04 圍觀734次 [動態(tài)]

蘇州工業(yè)園區(qū)納米技術(shù)人才公共實訓(xùn)基地揭牌成立

教育裝備采購網(wǎng)訊：從中科院獲悉，為推動園區(qū)納米技術(shù)發(fā)展，培養(yǎng)培訓(xùn)一大批納米技術(shù)高技能人才，7月22日，以中科院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所納米加工平臺為基礎(chǔ)組建的蘇州工業(yè)園區(qū)納米技術(shù)人...

2011-07-25 圍觀280次 [地方]