近期，瑞士swisslitho公司利用3d納米高速直寫設(shè)備完成了 nano-dog 賀卡的制作，尺寸僅有9.2μmx 5.5μm，z軸精度1nm，突破了納米加工尺寸的限，是目前精度高的納米賀卡。
喜氣洋洋的旺旺狗，體現(xiàn)了這款設(shè)備的納米直寫能力(高直寫精度 (xy: 10nm, z: 1nm))，同時(shí)高直寫速度，無需顯影，無臨近效應(yīng)，無電子/離子損傷等特點(diǎn)逐漸受到科研工作者的青睞。2017推出的小面積直寫系統(tǒng)nanofrazor scholar更是只有30mmx30mm的樣品臺(tái)，桌面配置，大方便了實(shí)驗(yàn)室科研人員的研究工作。
普通的afm針尖可無法滿足上述直寫流程的需求，為此ibm專門研發(fā)并設(shè)計(jì)了熱掃描探針。該針尖具有兩個(gè)電阻加熱區(qū)域，針尖上方的加熱區(qū)域可以加熱到1000℃。 第二處加熱區(qū)域作為熱導(dǎo)率傳感器位于側(cè)臂處，其能感知針尖與樣品距離的變化，精度高達(dá)0.1nm。
在每行直寫進(jìn)程結(jié)束后的回掃結(jié)構(gòu)時(shí)，并不是通過針尖起伏反饋形貌信息，而是通過熱導(dǎo)率傳感器感應(yīng)形貌變化，從而實(shí)現(xiàn)了比afm快1000余倍的掃描速度，同時(shí)保證了3d直寫的高精度。
瑞士swisslitho公司同時(shí)將于3.28-3.29在蘇黎世舉辦第五屆熱探針研討會(huì)，屆時(shí)希望就熱掃描探針及其他探針技術(shù)問題，與各位學(xué)者展開深入的探討與交流?；顒?dòng)受到了熱掃描探針及相關(guān)研究領(lǐng)域人員和熱切關(guān)注，如果您對(duì)探針技術(shù)感興趣，請(qǐng)點(diǎn)擊https://swisslitho.com/event/tpw18/ 了解詳情。
