摘要：本發(fā)明公開了一種用于工模具領(lǐng)域的納米多層鍍膜裝置，其包括：真空室；圓筒形隔板支撐架，設(shè)有開口；至少四個(gè)隔板，安裝于圓筒形隔板支撐架上且將真空室分隔成至少四個(gè)隔離室；中心抽氣管，設(shè)有開口，設(shè)置于所述圓筒形隔板支撐架中；至少兩個(gè)蒸發(fā)裝置與至少一個(gè)離子源，設(shè)置于所述真空室的壁上；至少四個(gè)工件架，每個(gè)工件架分別安裝于獨(dú)立的所述隔離室中，所述工件架、圓筒形隔板支撐架和隔板可繞同一公轉(zhuǎn)軸同步旋轉(zhuǎn)；磁流體密封同心多軸傳動(dòng)裝置；抽氣口。本裝置能沉積納米多層膜并能對膜層成分和厚度進(jìn)行調(diào)制，形成的多層膜中每一膜層成分單一，不同膜層之間能形成清晰尖銳的界面。本發(fā)明用于工模具及其他零部件的表面強(qiáng)化。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人北京東方新材科技有限公司;
- 發(fā)明人徐健;程云立;張?jiān)讫?
- 地址100096北京市昌平區(qū)回龍觀鎮(zhèn)制版廠北區(qū)
- 申請?zhí)?/b>CN200510083078.5
- 申請時(shí)間2005年07月14日
- 申請公布號CN100398691C
- 申請公布時(shí)間2008年07月02日
- 分類號C23C14/22(2006.01);C23C14/24(2006.01);C23C14/50(2006.01);C23C14/35(2006.01);
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