摘要：一種通過(guò)物理氣相沉積對(duì)易氧化工件進(jìn)行強(qiáng)化的方法以及用該方法處理的工件，包括：(1)在真空下采用載能離子轟擊工件表面以去除氧化膜；(2)在工件表面沉積一層厚度為0.01－2微米的不易氧化的金屬(Au、Pt等)或是能形成保護(hù)性氧化膜的金屬(Al、Cr、Ni、Ti等)；(3)將工件加熱至所需溫度；(4)再次用載能離子轟擊工件表面以去除步驟(2)中沉積的金屬和(或)氧化膜；(5)以常規(guī)物理氣相沉積方法在工件表面沉積一層或多于一層硬質(zhì)膜層或其他膜層。本發(fā)明提供的表面處理方法通過(guò)升溫前在工件表面沉積的不易氧化或是能形成保護(hù)性氧化膜的金屬，很好地限制了工件表面氧化膜的厚度，能避免易氧化工件在物理氣相沉積處理過(guò)程中因表面生成氧化膜而導(dǎo)致膜層結(jié)合不牢的問(wèn)題。
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