摘要：本發(fā)明涉及一種搬運(yùn)機(jī)械臂，尤其是涉及一種使用在晶粒分揀機(jī)或固晶機(jī)中的可以調(diào)節(jié)對晶粒的下壓力、并可以方便測量下壓力何時(shí)滿足要求的晶粒搬運(yùn)機(jī)械臂。本發(fā)明由后臂301、支撐板304、絕緣環(huán)312、后臂電極螺釘302、電極螺釘螺母311、彈性片310、前臂308、前臂電極315、壓力調(diào)節(jié)桿305、壓力調(diào)節(jié)螺母306、彈簧307、真空吸嘴314和真空吸嘴接頭313組成，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡潔，調(diào)節(jié)方便，運(yùn)動(dòng)順暢，符合經(jīng)濟(jì)效益，具有工業(yè)生產(chǎn)價(jià)值。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人清華大學(xué);北京中拓機(jī)械有限責(zé)任公司;
- 發(fā)明人董占民;肖堯;孫紅三;賈偵華;孫梁;伊文君;田建明;徐杰;劉鴻飛;郭金源;
- 地址100084 北京市海淀區(qū)清華園
- 申請?zhí)?/b>CN200910307527.8
- 申請時(shí)間2009年09月23日
- 申請公布號(hào)CN101664931B
- 申請公布時(shí)間2011年06月22日
- 分類號(hào)B25J18/00(2006.01)I;B25J15/06(2006.01)I;
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