摘要：本發(fā)明提供一種微納尺度粉體保護層包裹裝置和方法，裝置包括真空系統(tǒng)、反應(yīng)腔體系統(tǒng)、前驅(qū)體脈沖系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、載氣輸送系統(tǒng)、控制系統(tǒng)，前驅(qū)體脈沖系統(tǒng)連接反應(yīng)腔體系統(tǒng)，反應(yīng)腔體系統(tǒng)連接真空系統(tǒng)，在前驅(qū)體脈沖系統(tǒng)與反應(yīng)腔體系統(tǒng)的連接通路上連接有載氣輸送系統(tǒng)，加熱系統(tǒng)包括設(shè)置在前述系統(tǒng)裝置上的加熱裝置。一種微納尺度粉體保護層包裹方法，在一定溫度下，采用ALD技術(shù)在真空反應(yīng)腔體內(nèi)對微納尺度的粉體進行保護層包裹，盛裝粉體的內(nèi)腔體在端面具有微米級孔，通過脈沖執(zhí)行器使得前驅(qū)體源料通過載氣交替進入反應(yīng)腔體系統(tǒng)，并利用載氣清掃多余的前驅(qū)體源料及反應(yīng)副產(chǎn)物，從而得到所需的具有保護層包裹的微納尺度粉體。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人無錫邁納德微納技術(shù)有限公司;
- 發(fā)明人左雪芹;梅永豐;
- 地址214028 江蘇省無錫市新區(qū)經(jīng)一路8號209室
- 申請?zhí)?/b>CN201110419358.4
- 申請時間2011年12月14日
- 申請公布號CN102418085B
- 申請公布時間2013年09月11日
- 分類號C23C16/44(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I;
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