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    一種顯微角分辨光譜測量裝置

      摘要:本發(fā)明涉及一種顯微角分辨光譜測量裝置,利用傅立葉變換器件,至少包括一個(gè)帶有照明系統(tǒng)的顯微鏡、一根光纖,一個(gè)精密平移針孔和一個(gè)光譜儀,角分辨光譜測量由下述部件實(shí)現(xiàn):將所述的顯微鏡的物鏡當(dāng)作一種傅里葉變換器件,形成光的角度和焦平面上空間位置的對應(yīng)關(guān)系,光譜儀通過光纖連接至物鏡焦平面上的針孔處,通過移動(dòng)針孔的位置,獲得不同角度的光譜信息;采用共焦照明系統(tǒng)對樣品進(jìn)行照明,或者,在圖像平面上利用圖像針孔進(jìn)行空間濾波,或者,采用共焦照明系統(tǒng)和在圖像平面上利用圖像針孔進(jìn)行空間濾波,獲得樣品上微米或納米尺度區(qū)域的光譜信息。本發(fā)明可應(yīng)用于微納光學(xué)領(lǐng)域如光子晶體、薄膜材料、LED等的顯微角分辨光譜檢測。
    • 專利類型發(fā)明專利
    • 申請人上海復(fù)享儀器設(shè)備有限公司;
    • 發(fā)明人許春;殷海瑋;章煒毅;
    • 地址200433 上海市楊浦區(qū)國定東路200號3號樓302-1
    • 申請?zhí)?/b>CN201310114735.2
    • 申請時(shí)間2013年04月03日
    • 申請公布號CN103234633A
    • 申請公布時(shí)間2013年08月07日
    • 分類號G01J3/28(2006.01)I;
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