摘要：本發(fā)明公開了一種牽引級(jí)復(fù)合分子泵，包括：泵殼固定設(shè)在底盤上；主軸座設(shè)在底盤上，主軸經(jīng)主軸座設(shè)在底盤上，主軸的頂端設(shè)在泵殼內(nèi)；電機(jī)驅(qū)動(dòng)主軸；轉(zhuǎn)子體固定設(shè)在泵殼內(nèi)的主軸上，轉(zhuǎn)子體外周上沿軸向固定設(shè)置至少一層渦輪動(dòng)葉片；沿轉(zhuǎn)子體軸向設(shè)置至少一層渦輪靜葉片，渦輪靜葉片通過隔離環(huán)固定在泵殼上，渦輪靜葉片與轉(zhuǎn)子體外周上設(shè)置的渦輪動(dòng)葉片交替排列；轉(zhuǎn)子體內(nèi)設(shè)有筒式牽引級(jí)轉(zhuǎn)子，筒式牽引級(jí)轉(zhuǎn)子內(nèi)設(shè)置筒式牽引級(jí)定子，筒式牽引級(jí)定子與筒式牽引級(jí)轉(zhuǎn)子具有配合間隙；筒式牽引級(jí)定子與筒式牽引級(jí)轉(zhuǎn)子之間設(shè)有螺旋狀導(dǎo)流槽，螺旋狀導(dǎo)流槽的出口與主軸座上設(shè)置的排氣口連接。其抽速大、壓縮比高和前級(jí)抗壓能力較強(qiáng)，是種高性能復(fù)合分子泵。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人北京北儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限責(zé)任公司;
- 發(fā)明人董欣;郁晉軍;于天化;
- 地址102600 北京市大興區(qū)大興工業(yè)開發(fā)區(qū)前高米店盛坊路儀器儀表基地
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201310195542.4
- 申請(qǐng)時(shí)間2013年05月23日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN103244438B
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2016年04月06日
- 分類號(hào)F04D19/04(2006.01)I;F04D29/32(2006.01)I;
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