摘要：本實用新型公開一種耐腐蝕分子泵，包括設(shè)置有通道的泵體，所述通道的一端為吸氣口，另一端為排氣口；通道內(nèi)設(shè)置有轉(zhuǎn)軸，套設(shè)于轉(zhuǎn)軸外的轉(zhuǎn)子，以及連通吸氣口和排氣口的抽氣機構(gòu)；轉(zhuǎn)子朝向轉(zhuǎn)軸支撐端的一端與轉(zhuǎn)軸支撐端配合形成有密封氣體通道；轉(zhuǎn)軸支撐端的端面上設(shè)置有葉槽輪，葉槽輪朝向轉(zhuǎn)子的端面上設(shè)置有多個槽谷，多個槽谷的旋向與轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)動方向一致。轉(zhuǎn)子以適當轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)動時，葉槽輪與轉(zhuǎn)子牽引面之間將形成密封氣體的動密封結(jié)構(gòu)并產(chǎn)生單向抽氣的功能，使得密封氣體從轉(zhuǎn)軸的軸系腔通過密封氣體通道流向分子泵的排氣口，從而阻擋腐蝕性氣體進入軸系腔，實現(xiàn)腐蝕性氣體良好的密封隔離效果，并且該分子泵結(jié)構(gòu)簡單并具有廣泛適用性。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京中科科儀股份有限公司;
- 發(fā)明人范斌;鄧高飛;
- 地址100190 北京市海淀區(qū)中關(guān)村北二條13號
- 申請?zhí)?/b>CN201220721315.1
- 申請時間2012年12月24日
- 申請公布號CN203114662U
- 申請公布時間2013年08月07日
- 分類號F04D19/04(2006.01)I;F04D29/32(2006.01)I;
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