摘要：本發(fā)明公開(kāi)了一種渦輪分子泵，其包括泵體、主軸、渦輪轉(zhuǎn)子、電機(jī)以及靜渦輪級(jí)，其中，電機(jī)包括電機(jī)定子和電機(jī)轉(zhuǎn)子，電機(jī)轉(zhuǎn)子和電機(jī)定子為中部具有通孔的盤(pán)形結(jié)構(gòu)，電機(jī)轉(zhuǎn)子和電機(jī)定子通過(guò)各自通孔先后套設(shè)在主軸上，電機(jī)轉(zhuǎn)子與電機(jī)定子盤(pán)面相對(duì)，且電機(jī)定子固定不動(dòng)，電機(jī)轉(zhuǎn)子固定設(shè)置在主軸與渦輪轉(zhuǎn)子的連接處，以使電機(jī)定子與電機(jī)轉(zhuǎn)子形成的旋轉(zhuǎn)動(dòng)力源位于或者接近主軸與渦輪轉(zhuǎn)子形成的軸系轉(zhuǎn)子的質(zhì)心處，從而使得本發(fā)明的渦輪分子泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)動(dòng)不平衡降低，振動(dòng)較小，提高了渦輪分子泵的運(yùn)行可靠性。
- 專利類(lèi)型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人北京中科科儀股份有限公司;
- 發(fā)明人李兵;李奇志;
- 地址100190 北京市海淀區(qū)中關(guān)村北二條13號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201310349243.1
- 申請(qǐng)時(shí)間2013年08月12日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN103398013B
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2016年08月24日
- 分類(lèi)號(hào)F04D25/06(2006.01)I;F04D19/04(2006.01)I;F04D29/26(2006.01)I;F04D29/66(2006.01)I;F04D29/40(2006.01)I;H02K7/14(2006.01)I;
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