摘要：一種隨工件運動的在位動態(tài)監(jiān)控膜厚的真空光學鍍膜機，本發(fā)明的膜厚控制儀主機位于爐體頂板上方安裝在轉軸上端，晶振探頭安裝在工件轉架上，晶振探頭的電導線和信號線從轉軸的上部的中空的腔體中密封穿出爐體，冷卻水回路從轉軸的下部的中空的腔體中密封穿出爐體，即本發(fā)明實現(xiàn)了晶振探頭水電的分開傳送。本發(fā)明把晶振探頭的冷卻水回路及其電導線與信號線分開分別從爐體傳動軸的下部和上部傳送，改變了現(xiàn)有技術中集中在傳動軸上部傳送的方式，水電分離傳送，簡化了之前傳動軸上述龐雜的結構，有利于提高設備的可靠性，降低故障率。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人東莞市匯成真空科技有限公司;
- 發(fā)明人李志榮;李志方;羅志明;陸創(chuàng)程;
- 地址523820 廣東省東莞市大嶺山鎮(zhèn)顏屋村第四工業(yè)區(qū)
- 申請?zhí)?/b>CN201410322904.6
- 申請時間2014年07月08日
- 申請公布號CN104131261B
- 申請公布時間2016年09月14日
- 分類號C23C14/54(2006.01)I;
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