摘要：本實(shí)用新型涉及一種多片比較片換位機(jī)構(gòu)。該多片比較片換位機(jī)構(gòu)包括比較片筒、撥盤、重疊放置于比較片筒內(nèi)的比較片、以及位于撥盤下方的比較片接收筒。本實(shí)用新型的多片比較片換位機(jī)構(gòu)通過在比較片筒內(nèi)重疊放置比較片使得比較片機(jī)構(gòu)所占面積減小，且放置比較片的數(shù)量大大增加，從而使整個機(jī)構(gòu)的直徑大大縮小。這樣，整個機(jī)構(gòu)的尺寸減小可以使工件盤上可裝載的被鍍工件的有效面積增大，提高生產(chǎn)效率，而且可以提高薄膜監(jiān)控的精度，并降低對硬件系統(tǒng)的要求，容易實(shí)現(xiàn)對系統(tǒng)的自動控制。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請人北京北儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限責(zé)任公司;
- 發(fā)明人陳月增;李紅然;王紅雪;
- 地址102600 北京市大興工業(yè)開發(fā)區(qū)前高米店盛坊路北京儀器儀表基地
- 申請?zhí)?/b>CN200920110200.7
- 申請時間2009年07月24日
- 申請公布號CN201459236U
- 申請公布時間2010年05月12日
- 分類號C23C14/54(2006.01)I;
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