摘要：本發(fā)明涉及一種傳送裝置和方法，具體為硅片分片傳送裝置，包括硅片組傳送裝置、豎向傳送裝置和水平過渡傳送裝置，豎向傳送裝置與水平過渡傳送裝置共用同一傳送帶，豎向傳送裝置與水平過渡傳送裝置的連接處有壓輪；傳送帶上有通孔，豎向傳送裝置還有硅片吸盤，硅片吸盤安裝在傳送帶的背面，硅片吸盤上有氣孔，氣孔與傳送帶上的通孔對應(yīng)，氣孔與抽氣裝置連接；硅片組傳送裝置末端還安裝有推送噴頭，推送噴頭噴射方向朝向豎向傳送裝置。分片后的單片硅片由推送噴頭推送到傳送帶上，傳送帶上的通孔通過負(fù)壓將單片硅片吸附住，通過傳送帶完成全部傳送，簡化了傳送裝置的結(jié)構(gòu)，并且定位精確，吸附負(fù)壓力小，傳送過程穩(wěn)定。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人無錫市南亞科技有限公司;
- 發(fā)明人顧韻;凌兆貴;
- 地址214024 江蘇省無錫市南長區(qū)揚(yáng)名高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園B區(qū)107號
- 申請?zhí)?/b>CN201510051096.9
- 申請時(shí)間2015年02月02日
- 申請公布號CN104609146A
- 申請公布時(shí)間2015年05月13日
- 分類號B65G47/06(2006.01)I;
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