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    干法硅片自動(dòng)分離機(jī)構(gòu)

      摘要:本實(shí)用新型涉及一種干法硅片自動(dòng)分離機(jī)構(gòu)包括支架、支桿、風(fēng)刀體、噴嘴體、密封圈、螺母、噴頭、噴頭環(huán);所述噴嘴體、支桿分別旋入風(fēng)刀體上,密封圈裝入噴嘴體凹孔內(nèi),所述風(fēng)刀體上設(shè)置有兩個(gè)噴頭,噴頭環(huán)裝在噴頭上,通過(guò)螺母固定噴頭,且安裝在支架上,用兩個(gè)螺紋孔固定。所述風(fēng)刀體上設(shè)置有兩個(gè)噴頭,噴頭底部為球形,可以自由調(diào)節(jié)所需的噴射角度。所述風(fēng)刀體上設(shè)有孔。所述支架上設(shè)置有兩個(gè)螺紋孔。所述噴頭上的壓縮空氣噴出口為一字型槽口。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊,合理;通過(guò)噴頭、噴頭環(huán)來(lái)控制壓縮空氣的噴射方向、形狀、范圍從而使硅片很好的分離,并且穩(wěn)定的懸浮在空中。
    • 專利類型實(shí)用新型
    • 申請(qǐng)人無(wú)錫市南亞科技有限公司;
    • 發(fā)明人顧韻;凌峰;凌兆貴;
    • 地址214024 江蘇省無(wú)錫市南長(zhǎng)區(qū)揚(yáng)名高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園B區(qū)107號(hào)
    • 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201120379086.5
    • 申請(qǐng)時(shí)間2011年09月30日
    • 申請(qǐng)公布號(hào)CN202231049U
    • 申請(qǐng)公布時(shí)間2012年05月23日
    • 分類號(hào)H01L31/18(2006.01)I;
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