摘要：一種用于化學(xué)汽相沉積的轉(zhuǎn)盤反應(yīng)器，其包括真空室和鐵磁流體穿通件，該鐵磁流體穿通件包括上部和下部鐵磁流體密封件，馬達(dá)軸通過該鐵磁流體穿通件進(jìn)入真空室中。馬達(dá)聯(lián)接至馬達(dá)軸，并且定位在上部和下部鐵磁流體密封件之間的大氣區(qū)域中。轉(zhuǎn)臺(tái)定位在真空室中，并且聯(lián)接至馬達(dá)軸，從而馬達(dá)按所需轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)臺(tái)。介電支架聯(lián)接至轉(zhuǎn)臺(tái)，從而轉(zhuǎn)臺(tái)當(dāng)由軸驅(qū)動(dòng)時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)介電支架?；d體定位在用于化學(xué)汽相沉積處理的真空室中的介電支架上。加熱器定位成靠近基片載體，該加熱器將基片載體的溫度控制到化學(xué)汽相沉積所需的溫度。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人維易科精密儀器國際貿(mào)易(上海)有限公司;
- 發(fā)明人L·S·巴里斯;R·A·科穆納萊;R·P·弗雷姆根;A·I·古拉雷;T·A·盧斯;R·W·米爾蓋特三世;J·D·波洛克;
- 地址美國紐約
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201610120769.6
- 申請(qǐng)時(shí)間2013年05月09日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN105734532A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2016年07月06日
- 分類號(hào)C23C16/458(2006.01)I;C23C16/46(2006.01)I;
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