摘要：本發(fā)明涉及一種檢測(cè)非球面的相位測(cè)量偏折方法，該方法基于朗奇檢測(cè)的幾何原理對(duì)改進(jìn)的非球面相位測(cè)量偏折檢測(cè)方法進(jìn)行逆向光路分析，獲得待測(cè)鏡面相對(duì)于其理想面形的偏差梯度，積分這些梯度恢復(fù)待測(cè)鏡面偏差，進(jìn)而重建待測(cè)面形，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)非球面進(jìn)行非接觸的全場(chǎng)檢測(cè)。該方法避免了現(xiàn)有相位測(cè)量偏折術(shù)或朗奇檢測(cè)中需通過(guò)移動(dòng)顯示屏、標(biāo)定或近似來(lái)得到入射光線，給非球面的檢測(cè)帶來(lái)較大的方便。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請(qǐng)人上海應(yīng)用技術(shù)學(xué)院;
- 發(fā)明人郭春鳳;林曉艷;鄒軍;居家奇;
- 地址200235 上海市徐匯區(qū)漕寶路120號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201610309060.0
- 申請(qǐng)時(shí)間2016年05月11日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN106017863A
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2016年10月12日
- 分類號(hào)G01M11/00(2006.01)I;G01B11/25(2006.01)I;
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