摘要：本實用新型公開了一種硅片噴淋清洗槽，設有槽體，其特征在于：槽體內可放置硅片清洗花籃(9)，在槽體(1)的一端設有平移氣缸(6)，該氣缸上通過固定塊(7)固定裝有水平移動的平移噴淋管(2)，該噴淋管上設有噴嘴(3)；在槽體一端的下部設有升降氣缸(5)，該氣缸通過安裝板(8)固定裝有在槽體內兩側升降移動的兩個升降噴淋管(4)，該噴淋管上設有噴嘴(3.1)。本實用新型適用于硅片整籃進行清洗，操作簡便，能全方位均勻清洗，不損傷硅片。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;
- 發(fā)明人于皓潔;杜飛龍;
- 地址100016 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號
- 申請?zhí)?/b>CN200920109664.6
- 申請時間2009年06月30日
- 申請公布號CN201440405U
- 申請公布時間2010年04月21日
- 分類號H01L21/00(2006.01)I;B08B3/02(2006.01)I;
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