摘要:一種多晶硅鑄錠爐的錐形導(dǎo)流筒結(jié)構(gòu),其包括固定套管(1),導(dǎo)流筒本體(2),所述導(dǎo)流筒本體(2)置于固定套管(1)中,導(dǎo)流筒本體(2)的下端呈錐形,錐形小端的直徑小于坩堝蓋板(3)中心孔(11)的直徑,導(dǎo)流筒本體(2)的錐形下端能夠伸入坩堝蓋板(3)的下方。本實(shí)用新型通過獨(dú)特的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),可以降低導(dǎo)流筒本體(2)下端與硅熔體(8)水平距離(9),從而提高進(jìn)氣氣體的吹掃能力,因此硅晶體的碳氧等雜質(zhì)含量比傳統(tǒng)導(dǎo)流筒結(jié)構(gòu)的雜質(zhì)含量要低,晶體質(zhì)量也有提高。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人湖南大學(xué);
- 發(fā)明人呂鐵錚;
- 地址410082 湖南省長沙市岳麓區(qū)麓山南路
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201420322224.X
- 申請(qǐng)時(shí)間2014年06月17日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN203923456U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2014年11月05日
- 分類號(hào)C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I;




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