摘要：本實(shí)用新型公開了一種石墨烯薄膜連續(xù)規(guī)模化沉積設(shè)備，包括：密閉的真空室（1）、用于石墨烯沉積的沉積箔帶（2）和設(shè)于真空室兩端的石墨烯沉積箔帶的收放卷倉（3），以及與所述石墨烯沉積箔帶（2）相連接的驅(qū)動(dòng)裝置（4），所述驅(qū)動(dòng)裝置（4）包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)與石墨烯沉積箔帶收放卷輥（5），且所述真空室（1）與收放卷倉（3）中間設(shè)有用于石墨烯沉積箔帶加熱裝置（7），其沿著石墨烯沉積箔帶（2）的運(yùn)動(dòng)方向，所述收放卷倉口設(shè)有用于冷卻沉積有石墨烯的沉積箔帶的快速冷卻裝置（8），以使得高溫的石墨烯沉積箔帶（2）快速冷卻至常溫，并使的后續(xù)制備進(jìn)程快速連續(xù)地進(jìn)行。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人咸陽鴻峰窯爐設(shè)備有限公司;
- 發(fā)明人王宏飛;戚順昌;吳洪;
- 地址712000 陜西省咸陽市秦都區(qū)留渭路3號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201520927920.8
- 申請(qǐng)時(shí)間2015年11月20日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN205295454U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2016年06月08日
- 分類號(hào)C23C16/26(2006.01)I;
教育裝備采購網(wǎng)企業(yè)微信客服
京公網(wǎng)安備11010802043465號(hào)
