摘要：本實(shí)用新型公開(kāi)了一種石英晶片研磨在線測(cè)頻系統(tǒng)，包括電源模塊、MCU控制系統(tǒng)模塊、DDS模塊、射頻功率放大模塊、π網(wǎng)絡(luò)接口電路模塊、信號(hào)放大濾波模塊、射頻幅值檢測(cè)模塊和觸摸屏模塊。本實(shí)用新型用基于DDS技術(shù)的π網(wǎng)絡(luò)最大傳輸法檢測(cè)原理增強(qiáng)了系統(tǒng)的抗干擾性，解決現(xiàn)有ALC系統(tǒng)“在某些頻段發(fā)生測(cè)頻值跳變”的問(wèn)題。本實(shí)用新型所有頻段采用統(tǒng)一的π網(wǎng)絡(luò)接口電路，解決現(xiàn)有ALC系統(tǒng)不同頻段需要更換探測(cè)頭的缺陷，降低射頻接頭頻繁插拔導(dǎo)致的電學(xué)故障風(fēng)險(xiǎn)，增強(qiáng)系統(tǒng)工作穩(wěn)定性，能夠顯著提升晶片研磨質(zhì)量和產(chǎn)品品質(zhì)穩(wěn)定性。硬件系統(tǒng)方案不僅能夠覆蓋目前晶片研磨生產(chǎn)所涉及的所有頻段，而且只需要通過(guò)算法參數(shù)上修改就能兼容石英晶片的所有切型。
- 專利類型實(shí)用新型
- 申請(qǐng)人浙江大學(xué)臺(tái)州研究院;
- 發(fā)明人郭彬;潘凌鋒;陳浙泊;陳一信;林斌;
- 地址318000 浙江省臺(tái)州市椒江區(qū)市府大道西段618號(hào)
- 申請(qǐng)?zhí)?/b>CN201620370210.4
- 申請(qǐng)時(shí)間2016年04月28日
- 申請(qǐng)公布號(hào)CN205720430U
- 申請(qǐng)公布時(shí)間2016年11月23日
- 分類號(hào)G01R23/02(2006.01)I;
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