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手動(dòng)探針臺(tái)生產(chǎn)/手動(dòng)探針臺(tái)廠家/業(yè)務(wù)直撥電話 13810309620

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詳細(xì)說明
 chuck尺寸800mm/600mm
 
 X,Y電動(dòng)移動(dòng)行程200mm/150mm
 
    chuck粗調(diào)升降9mm,微調(diào)升降16mm
 
    可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡
 
 針座擺放個(gè)數(shù)6~8顆
 
 顯微鏡X-Y-Z移動(dòng)范圍2"x2"x2"
 
 可搭配Probe card測試
 
   適用領(lǐng)域:8寸/6寸Wafer、IC測試之產(chǎn)品
 
 手動(dòng)探針臺(tái)主要用途: 應(yīng)用于生產(chǎn)過程中對(duì)集成電路、三極管、二極管、可控硅及敏感元件管芯的參數(shù)等
 
一、機(jī)器的組成
    本機(jī)器由三大部分組成如圖1所示:



圖1機(jī)器組成
1、探針臺(tái)主體,2、探針和打點(diǎn)器,3、顯微鏡及環(huán)形燈。
二、功能介紹
    本手動(dòng)探針臺(tái)結(jié)構(gòu)特點(diǎn)是以右方臺(tái)面手柄的移動(dòng)控制被測試芯片的移動(dòng),以左方旋鈕的旋轉(zhuǎn)控制芯片的高度和旋轉(zhuǎn)。
1、技術(shù)性能指標(biāo):
測試芯片尺寸:4英寸。
片臺(tái)X軸、Y軸行程各是110mmm。
片臺(tái)Z軸高度行程6mm。
配置 4~100倍體式顯微鏡,具有環(huán)行燈照明裝置。
配備6個(gè)探針架。
具有手動(dòng)打點(diǎn)功能,配備1個(gè)打點(diǎn)器。
2、各部件動(dòng)能介紹 
※探針臺(tái)主體結(jié)構(gòu)如圖2所示,


圖2:探針臺(tái)主體結(jié)構(gòu)
1底座、2承片臺(tái)、3片臺(tái)移動(dòng)手柄、4探針和打點(diǎn)器安裝盤、5顯微鏡支架、6片臺(tái)高度手柄、7片臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)手輪、8、真空接口
各部功能介紹:
底座—是機(jī)器的基礎(chǔ),承片臺(tái)、移動(dòng)機(jī)構(gòu)等都裝在其上。
承片臺(tái)—用來放置被測試的芯片。
片臺(tái)移動(dòng)手柄—在底座上移動(dòng)此手柄就可以使承片臺(tái)沿X軸、Y軸移動(dòng),移動(dòng)范圍在110mm內(nèi)。
探針架和打點(diǎn)器安裝盤—用來安裝探針架和打點(diǎn)器的固定盤狀物。
顯微鏡支架—用來安裝顯微鏡的固定架,它上面有兩個(gè)鎖緊手柄和一個(gè)調(diào)節(jié)螺釘,用來調(diào)節(jié)顯微鏡的位置。
片臺(tái)高度手柄—旋轉(zhuǎn)此手柄,承片臺(tái)即上下移動(dòng),范圍是6mm。
片臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)手輪—轉(zhuǎn)動(dòng)手輪,片臺(tái)可轉(zhuǎn)動(dòng)一個(gè)角度。范圍是±30°。
電器接口—供打點(diǎn)器、環(huán)形燈工作的電器插座。具體如圖3所示。
圖3:電器插座
1、220V電源輸入 2、環(huán)形燈接口  3、打點(diǎn)器接口 4、24V輸入
※探針架結(jié)構(gòu)如如圖4所示,它具有三維調(diào)節(jié)功能。打點(diǎn)器架的結(jié)構(gòu)相同。


圖4:探針架結(jié)構(gòu)
1、固定鎖鈕  2、前后調(diào)節(jié)鈕 3、左右調(diào)節(jié)鈕 4、上下調(diào)節(jié)鈕5、探針
※探針架結(jié)構(gòu)如如圖4所示,它具有三維調(diào)節(jié)功能。打點(diǎn)器架的結(jié)構(gòu)相同。



圖5、打點(diǎn)器結(jié)構(gòu)
1、墨盒2、打點(diǎn)線3、頂緊螺釘4、限位螺母5、定位螺母
※顯微鏡及環(huán)形燈
    本機(jī)配備體式顯微鏡,顯微鏡的變倍倍率是4~100倍,物距100mm。詳細(xì)參見顯微鏡的說明。
    本機(jī)配備環(huán)形照明燈,220V 8W。
三、使用方法
1、測試準(zhǔn)備
(1)根據(jù)待測芯片單元圖形情況選擇需要的探針架個(gè)數(shù),將探針架安裝在固定盤上。
(2)將要測試的半導(dǎo)體芯片放在承片臺(tái)上。可以轉(zhuǎn)動(dòng)左手下部旋鈕使圖形對(duì)在垂直位置。
(3) 在顯微鏡下校對(duì)探針的位置,使之對(duì)準(zhǔn)在芯片單元相應(yīng)的焊點(diǎn)上,針尖的高度一致。同時(shí)檢查測試連線使之接好。
(4)打點(diǎn)器安裝在固定盤上,并對(duì)位在同一個(gè)芯片單元圖形內(nèi),插頭接在機(jī)器相應(yīng)的插座上。
(5)將環(huán)形燈接頭插在相應(yīng)的插口上(也可直接插在220V電源上)。
(6)將電源線插到220V電源上。 
2、測試過程
(1)右手移動(dòng)工作臺(tái)上的受柄,在顯微鏡下觀察探針對(duì)位到要測試的芯片單元圖形的相應(yīng)焊點(diǎn)上。
(2)對(duì)好位置后,左手順時(shí)針旋轉(zhuǎn)左側(cè)上部的旋鈕使承片臺(tái)向上移動(dòng),針和芯片的焊點(diǎn)接觸,觀看測試儀輸出信號(hào),判斷芯片是否合格。(3)有不合格的芯片單元時(shí),右手按動(dòng)手柄上部的按鈕,打點(diǎn)器打點(diǎn)在該芯片單元上,合格的不用打點(diǎn)。然后,逆時(shí)旋轉(zhuǎn)左側(cè)上部旋鈕承片臺(tái)下移。進(jìn)入下一個(gè)芯片單元的測試 。如果芯片圖形位置不垂直,轉(zhuǎn)動(dòng)左手下部手輪調(diào)直,如此往復(fù),完成整個(gè)芯片單元的測試。
    本機(jī)也可測試單個(gè)或多個(gè)芯片。
3、測試完成
(1)將測試后的芯片從承片臺(tái)上取下。
(2)安裝下一個(gè)要測試的芯片,如芯片單元圖形與上一次測試的相同,不用動(dòng)針的位置。繼續(xù)測試。如不同要重新校對(duì)探針位置后再開始測試。
(3)整個(gè)測試完成后,把電源線從220V插座上拔掉,保證安全。
四、注意事項(xiàng) 
1、顯微鏡光學(xué)鏡頭注意保養(yǎng),防潮、防震、防塵。
2、承片臺(tái)表面不要?jiǎng)潐骸?/strong>
3、上移承片臺(tái)時(shí)注意不要讓探針碰到承片臺(tái)上,防止探針尖部損壞。
4、打點(diǎn)器墨盒要經(jīng)常清理,防止堵塞,特別是長時(shí)間不用時(shí)要清洗掉殘留墨汁。
附件:設(shè)備清單
1、探針臺(tái)主機(jī)------------1套
2、探針架加探針----------6套
3、打點(diǎn)器----------------1套
4、體式顯微鏡------------1套
5、環(huán)形燈----------------1個(gè)
6、220V-24V開關(guān)電源-----1個(gè)
7、電源接線--------------1條
8、體式顯微鏡說明書------1頁
9、木質(zhì)外包裝箱----------1個(gè)
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