在真空腔體內(nèi)，水汽分子是 典型的環(huán)境污染氣體，占腔內(nèi)殘余氣體65% 到95% ，當(dāng)真空度達(dá)到10-2Pa時(shí)，水汽分子用平常真空泵難排出腔體，是典型的副作用的污染氣體，是工件的污染源，從而使產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量受到影響。為了快速的達(dá)到較高的真空度，COOL系列水汽深冷泵快速捕集和吸附真空腔內(nèi)的水汽，輔助抽真空，在極短的時(shí)間達(dá)到需求的真空度
COOL系列水汽深冷捕集泵工作原理將一個(gè)冷阱盤管或擋板，放置在真空室內(nèi)的腔壁上或油擴(kuò)散泵的泵口，通過制冷盤管表面，實(shí)現(xiàn)低溫冷凝效應(yīng)，迅速捕集集真空泵統(tǒng)的水汽分子或其它殘余氣體分子，從而獲得潔凈的真空環(huán)境，提高產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量，改善鍍膜的品質(zhì)，提高薄膜的附著力和多層鍍膜能力。
COOL系列水汽深冷捕集泵有單級(jí)和雙級(jí)的配置，雙級(jí)制冷可單獨(dú)控制每一路的制冷，兩路冷阱盤管或擋板都能被快速除霜。
