儀器簡介：
SR2000N 是一款量測面電阻、電阻率的全自動款測試系統(tǒng)。本系統(tǒng)可D立運行，并可通過 PC 和Z用軟件進行完善的遠程控制，提供多種數(shù)據(jù)分析功能。
廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體材料分析，鐵電材料，納米材料，太陽能電池，LCD，OLED，觸摸屏......
技術(shù)參數(shù)：
- Z大可測樣品尺寸：Φ200mm 或 140×140mm
面電阻測量：1mΩ/sq ～ 2MΩ/sq
- 測量模式 : 接觸式 4-探針
電阻率測量：10.0 μΩ·cm ～ 200.0 KΩ·cm
- 測量模式 : 接觸式 4-探針 (需輸入厚度)
軟件系統(tǒng)：
- Recipe 測試：根據(jù)使用者設(shè)定的 Recipe 直接測試
- 標準測試：ASTM、SEMI
- Pattern 測試：49，81，121，225 點等
- 數(shù)據(jù)分析：2D、3D、數(shù)據(jù)圖譜、統(tǒng)計等
- 數(shù)據(jù) & mapping 可打印
主要特點：
- X,R,Z軸全自動控制系統(tǒng)
- 自動& 手動范圍可選
- 通過PC進行控制
- 樣品臺尺寸大小可訂制
