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四探針測試系統(tǒng)(for 300/450mm wafer)

四探針測試系統(tǒng)(for 300/450mm wafer)
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產(chǎn)品報(bào)價(jià): 面議
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加載中
AIT
SR5000
AIT
高教
韓國
三星,SK,Aixtron,海力士半導(dǎo)體,江蘇納沛斯半導(dǎo)體,江蘇壹度科技
詳細(xì)說明

產(chǎn)品簡介:

SR5000N是一款用于測量硅片和太陽能電池片的面電阻和電阻率的系統(tǒng)。該系統(tǒng)是為便于個(gè)人計(jì)算機(jī)操作而設(shè)計(jì)的,具有多種數(shù)據(jù)分析、繪圖等功能.


技術(shù)參數(shù):

- Z大可測樣品尺寸:Φ300mm 或 210×210mm

面電阻測量:1mΩ/sq ~ 2MΩ/sq

- 測量模式 : 接觸式 4-探針

電阻率測量:10.0 μΩ·cm ~ 200.0 KΩ·cm

- 測量模式 : 接觸式 4-探針 (需輸入厚度)


軟件系統(tǒng):

- Recipe 測試:根據(jù)使用者設(shè)定的 Recipe 直接測試 

- 標(biāo)準(zhǔn)測試:ASTM、SEMI 

- Pattern 測試:49,81,121,225 點(diǎn)等 

- 數(shù)據(jù)分析:2D、3D、數(shù)據(jù)圖譜、統(tǒng)計(jì)等

- 數(shù)據(jù) & mapping 可打印

  

主要特點(diǎn):

- X,R,Z軸全自動控制系統(tǒng)

- 自動& 手動范圍可選

- 通過PC進(jìn)行控制

- 更大尺寸(Φ450mm 或 315 x 315mm)可選




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