產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
SR5000N是一款用于測(cè)量硅片和太陽(yáng)能電池片的面電阻和電阻率的系統(tǒng)。該系統(tǒng)是為便于個(gè)人計(jì)算機(jī)操作而設(shè)計(jì)的，具有多種數(shù)據(jù)分析、繪圖等功能.
技術(shù)參數(shù)：
- Z大可測(cè)樣品尺寸：Φ300mm 或 210×210mm
面電阻測(cè)量：1mΩ/sq ～ 2MΩ/sq
- 測(cè)量模式 : 接觸式 4-探針
電阻率測(cè)量：10.0 μΩ·cm ～ 200.0 KΩ·cm
- 測(cè)量模式 : 接觸式 4-探針 (需輸入厚度)
軟件系統(tǒng)：
- Recipe 測(cè)試：根據(jù)使用者設(shè)定的 Recipe 直接測(cè)試
- 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試：ASTM、SEMI
- Pattern 測(cè)試：49，81，121，225 點(diǎn)等
- 數(shù)據(jù)分析：2D、3D、數(shù)據(jù)圖譜、統(tǒng)計(jì)等
- 數(shù)據(jù) & mapping 可打印
主要特點(diǎn)：
- X,R,Z軸全自動(dòng)控制系統(tǒng)
- 自動(dòng)& 手動(dòng)范圍可選
- 通過(guò)PC進(jìn)行控制
- 更大尺寸（Φ450mm 或 315 x 315mm）可選
