產(chǎn)品簡介：
該款探針臺可精確控制探針臂和探針的移動，通過搭配探針座、顯微鏡和源表等，來完成探針臺的測試，精確下針，輸入、輸岀測試電信號，漏電流<10fA；精確度高，穩(wěn)定性好，皮實耐用；適合高校/研究所研發(fā)用。
基本配置：
- 8"真空吸盤
- 漏電流：<10fA
- X/Y軸移動范圍：200x200mm（細(xì)調(diào)手柄，分辨率5um）
- Z軸移動范圍：10mm
- 顯微鏡：90x（+CCD可達(dá)300x），更大倍數(shù)可訂制
- CCD相機：2.1M像素+22"液晶顯示屏
- 照明裝置：可調(diào)節(jié)亮度
- 真空針座：行程13mm；分辨率：1um ；精度：0.1um
- 探針臂：三軸或同軸線纜
- 探針：金鎢合金
- 真空泵：低噪音真空泵
其他選項：
- 防震桌
- 暗箱（屏蔽箱）
- 加熱臺
- 轉(zhuǎn)接頭插線板
- ......
