規(guī)格＆應用：
- 80mm卡盤
- 低漏泄電流-10fA以下
- 陶瓷背部：用于背部偏置或隔離 MBG25,MBG40
- 真空范圍：1x10E 3 or 6 torr
- 溫度范圍：77K~570K，LN2（溫度選項：770K可用）
- 260(10K)~300(570K),780K,1000K.氦氣
- 顯微鏡＆CCD攝像機
- 真空定位器支架
- 真空泵及計量系統(tǒng)
- 有多種Option可供選配：多通道氣體導入，RF探針，激光或光譜光照，真空樣品轉移盒.......
- 根據(jù)用戶需求也可定制
