儀器簡介：
勻膠機（spin coater）有許多名稱：甩膠機、涂膠機、涂層機、旋轉涂膠機。其工作原理是高速旋轉基片, 利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上, 厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同, 也和旋轉速度及時間有關。
勻膠機適用于半導體、硅片、晶片、基片、導電玻璃，鈣鈦礦（OPV）太陽能電池, FPD（OLED,LCD,Micro LED)......可在企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學之用。
主要規(guī)格參數(shù)：
- 樣品尺寸： ~ 6"（4",8",10",12" ,16"，200*200mm,370*470mm....更多尺寸可定制）
- 旋轉速度 : 100~8,000rpm
- 速度精度 : <±0.1%(8,000rpm)
- 速度遞增：1rpm
- 存儲（recipes）:100 files
- 甩涂步進（max）:100 step (1file)
- 加速度：100~4,000 rpm/sec
- 減速度：100~4,000 rpm/sec
- Last-Deceleration： 可選擇 *自然減速 或 *rpm/sec 減速方式進行驅動
- 顯示：數(shù)字LCD
- 運行時間：1~999sec
- Drain（tubing-type）:Yes
- 自旋真空外殼系統(tǒng)：Yes
- 防震系統(tǒng)：Yes
- 真空泵：無油泵
- 重量：37Kg
- 尺寸：283*400*470mm
- 其他事項跟根據(jù)客戶需求進行協(xié)商定制.
- option: 蓋傳感器-孔和蓋子系統(tǒng)
