儀器簡介：
勻膠機(jī)（spin coater）有許多名稱：甩膠機(jī)、涂膠機(jī)、涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)。其工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片, 利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上, 厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同, 也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。
勻膠機(jī)適用于半導(dǎo)體、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃，鈣鈦礦（OPV）太陽能電池, FPD（OLED,LCD,Micro LED)......可在企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。
主要規(guī)格參數(shù)：
- 樣品尺寸： ~ 6"（4",8",10",12" ,16"，200*200mm,370*470mm....更多尺寸可定制）
- 旋轉(zhuǎn)速度 : 30~6,000rpm
- 速度精度 : <±0.5rpm
- 速度遞增：0.1rpm
- 存儲(chǔ)（recipes）:1,000 files
- 甩涂步進(jìn)（max）:100 step (1file)
- 加速度：2.0~3,000.0sec
- 減速度：2.0~3,000.0sec
- Last-Deceleration： 可選擇 *自然減速 或 * 時(shí)間減速方式進(jìn)行驅(qū)動(dòng)
- 顯示：7"彩色觸控屏
- 運(yùn)行時(shí)間：1.0~3,000sec
- Drain（tubing-type）:Yes
- 自旋真空外殼系統(tǒng)：Yes
- 防震系統(tǒng)：Yes
- 壓力傳感器&顯示：Yes
- 蓋傳感器-孔和蓋子系統(tǒng)：Yes
- 真空調(diào)節(jié)閥：Yes
- 真空泵：無油泵
- 重量：40Kg
- 尺寸：323*400*470mm
- 其他事項(xiàng)跟根據(jù)客戶需求進(jìn)行協(xié)商定制.
