UOTEST DCH-196高低溫真空探針臺(tái)是我司自主研發(fā)的一款在極
端環(huán)境下給樣品加載電學(xué)信號(hào)的設(shè)備?？梢詫?shí)現(xiàn)器件及材料表征的
IV/CV特性測(cè)試，射頻測(cè)試，光電測(cè)試等。通過(guò)液氮或者壓縮機(jī)制
冷，可以在防輻射屏內(nèi)營(yíng)造一個(gè)穩(wěn)定的測(cè)試環(huán)境。在特殊材料，半
導(dǎo)體器件等研究方向具有廣泛運(yùn)用。一般用于相關(guān)單位實(shí)驗(yàn)室。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：
防輻射屏和熱沉設(shè)計(jì)
降溫速度快，常溫降至77k<25mins，大大提高測(cè)試效率
液氮自動(dòng)控制系統(tǒng)，液氮流量模塊和溫度控制模塊一起聯(lián)動(dòng)共同控制溫度
詳細(xì)參數(shù)：
產(chǎn)品類(lèi)型 | 低溫開(kāi)循環(huán) | 低溫閉循環(huán) | |
型號(hào) | DCH-196 | DCH-4 | |
外形 | 900*900*600mm | 1000*1000*600mm | |
重量 | 約100KG | 約150KG | |
電力需求 | AC220V,50~60HZ | AC380V,50~60HZ | |
腔體 | 腔體尺寸 | 8英寸，帶4英寸高紅外透射率觀察窗 | |
樣品臺(tái)尺寸 | 2英寸/4英寸 | 2英寸 | |
樣品固定方式 | 真空導(dǎo)熱硅脂/彈簧壓片 | ||
真空度 | 10^-4pa真空 | ||
接口形式 | 電信接口，真空接口，光纖接口，冷源接口等 | ||
其它 | 帶防輻射屏和熱沉設(shè)計(jì) | ||
溫控系統(tǒng) | 制冷方式 | 液氮 | 壓縮機(jī) |
溫控范圍 | 77K~473K | 4.2K~450K | |
溫控精度 | ± 0.1度 | ||
溫度穩(wěn)定性 | ± 0.1度 | ||
降溫速度 | 常溫降到77k優(yōu)于25mins | 常溫降到10k優(yōu)于180mins | |
控制方式 | 液氮自動(dòng)流量控制 | 壓縮機(jī)控制 | |
光學(xué)系統(tǒng) | 顯微鏡類(lèi)型 | 體式/單筒/金相顯微鏡 | 體式/單筒顯微鏡 |
移動(dòng)范圍 | 水平360度旋轉(zhuǎn)，Z軸50.8mm調(diào)焦/定制其它 | ||
真空腔觀察窗尺寸 | 2inch | 2inch | |
CCD像素 | 50W（模擬）/200W（數(shù)字）/500W（數(shù)字） | ||
探針臂 | 探針臂數(shù)量 | 多6個(gè) | |
X-Y-Z行程 | 50mm-25mm-25mm | ||
點(diǎn)針精度 | 10微米/2微米 | ||
漏電精度 | 10pA/100fA | ||
接口形式 | 三軸/SMA/K/光纖接口 | ||
探針 | 頻率范圍 | DC-67G | |
探針直接 | 1um/2um/5um/10um/20um可選 | ||
材質(zhì) | 鎢鋼，鈹銅 | ||
真空系統(tǒng) | 機(jī)械泵/分子泵組/離子泵 | ||
可選附件 | 防震桌，鍍金卡盤(pán)，氣敏測(cè)試組件等 | ||
應(yīng)用方向 | 高低溫真空環(huán)境下的芯片測(cè)試，材料測(cè)試，霍爾測(cè)試，電磁輸運(yùn)特性等 | ||
產(chǎn)品特點(diǎn) | 防輻射屏和熱沉設(shè)計(jì) | ||
液氮自動(dòng)控制系統(tǒng)，液氮流量模塊和溫度控制模塊一起聯(lián)動(dòng)共同控制溫度 | |||
降溫速度快，常溫降至77k<25mins，大大提高測(cè)試效率 | |||
