鉻金薄膜的蒸鍍生長。本文所研究的叉指電極結(jié)構(gòu)采用鉻、金材料制作。首先需要在玻璃襯底上生長一層均勻覆蓋的薄膜。將上一步工藝過程中清洗好的玻璃片放入電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)中，抽真空后，先蒸鍍 50 厚度的鉻金屬層，再蒸鍍1000? 厚度的金層，后升溫到 300℃進(jìn)行熱處理以增強(qiáng)鉻金層的黏附性。
紫外光刻。首先利用勻膠機(jī)在玻璃襯底表面旋涂一層均勻的光刻膠，厚度大約為 1~2μm，然后利用光刻機(jī)設(shè)備以及已制備好叉指電極圖形的光刻板在玻璃片表面進(jìn)行紫外曝光工藝，然后在顯影液中顯影得到掩模圖形。完成光刻后，在鉻金金屬薄膜表面上就形成光刻膠的電極圖案。
叉指電極是指狀或梳狀的面內(nèi)有周期性圖案的電極，它是通過電化學(xué)工藝加工獲得的超精細(xì)電路。作為電信號傳輸核心部件，廣泛應(yīng)用于生物醫(yī)療檢測、環(huán)境在線監(jiān)測，食品安全檢測，安全監(jiān)測等重要領(lǐng)域。
鉑金叉指電極高低溫探針臺
鉑金叉指電極高低溫探針臺KT-Z4019MRL4T 參數(shù)
真空腔體 | ||
類型 | 高溫型室溫到400℃ | 高低溫型室溫到400℃室溫到-196℃ |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼6061鋁合金可選 | |
腔體內(nèi)尺寸 | 127mmX57mmX20mm | |
腔體外尺寸 | 150mmX80mmX32mm | |
腔體重量 | 不銹鋼材質(zhì)約1.5KG 鋁合金材質(zhì)約0.5KG | |
腔體上視窗尺寸 | Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離） | |
腔體抽氣口 | KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接） | |
腔體真空測量口 | KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接） | |
腔體進(jìn)氣口 | 6mm快擰或6mm快插 | |
腔體冷卻方式 | 腔體水冷+上蓋氣冷 | |
腔體水冷接口 | ||
腔體正壓 | ≤0.05MPa | |
腔體真空度 | 機(jī)械泵≤5Pa （5分鐘）分子泵≤5E-3Pa（30分鐘） | |
樣品臺 | ||
樣品臺材質(zhì) | 不銹鋼銀銅合金純銀塊 | 銀銅合金純銀塊 |
樣品臺尺寸 | 26x26mm | |
樣品臺加熱方式 | 電阻加熱 | 電阻加熱液氮制冷 |
樣品臺-視窗距離 | 11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm） | |
樣品臺測溫傳感器 | PT100型熱電阻 | |
樣品臺溫度 | 室溫到400℃ | 室溫到400℃室溫到-196℃ |
樣品臺測溫誤差 | ±0.5℃ | |
樣品臺升溫速率 | 高溫100℃/min 低溫7℃/min | |
溫控儀 | ||
溫度顯示 | 7寸人機(jī)界面 | |
溫控類型 | 標(biāo)準(zhǔn)PID溫控+自整定 | |
溫度分辨率 | 0.1℃ | |
溫控精度 | ±0.5℃ | |
溫度信號輸入類型 | PT100 （可選K S B型熱電偶） | |
溫控輸出 | 直流線性電源加熱 | 直流線性電源加熱+液氮流速控制器 |
輔助功能 | 溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出實(shí)時溫度曲線+歷史溫度曲線可擴(kuò)展真空讀數(shù)接口 | |
溫控器尺寸 | 32cmX170cmX380cm | |
溫控器重量 | 約5.6KG | |
探針 | ||
電信號接頭 | 配線轉(zhuǎn)接BNC接頭BNC三同軸接頭SMA 接頭香蕉插頭線長1.2米 | |
電學(xué)性能 | 絕緣電阻≥4000MΩ介質(zhì)耐壓≤200V 電流噪聲≤10pA | |
探針數(shù)量 | 4探針（可擴(kuò)展5探針） | |
探針材質(zhì) | 鍍金鎢針（其他材質(zhì)可選） | |
探針尖 | 10μm | |
手動探針移動平臺 | ||
X軸移動行程 | 20mm ±10mm（需手動推動滑臺） | |
X軸控制精度 | ≥500μm | |
R軸移動行程 | 120° ±60°（需手動旋轉(zhuǎn)探針桿） | |
R軸控制精度 | ≥500μm | |
Z軸移動行程 | 2mm ±1mm | |
Z軸控制精度 | ≤50μm（需手動螺紋調(diào)節(jié)探針桿） | |
