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德國(guó)QRM-MicroCT-Barpattern-NANO MicroCT測(cè)試模體

德國(guó)QRM-MicroCT-Barpattern-NANO MicroCT測(cè)試模體
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德國(guó)QRM
QRM-MicroCT-Barpattern-NANO
全階段
詳細(xì)說(shuō)明

  QRM-MicroCT-Barpattern-NANO MicroCT測(cè)試模體詳細(xì)介紹:

  多年來(lái),已經(jīng)提出了許多評(píng)估m(xù)icroCT系統(tǒng)性能的方法。通常,高分辨率的限制因素是焦點(diǎn)尺寸。這就是為什么許多測(cè)試僅依賴于從2D投影圖像確定光斑大小的原因。但是,3D中的真實(shí)空間分辨率取決于更多因素,而不僅僅是系統(tǒng)的機(jī)械精度。與持續(xù)時(shí)間相對(duì)較短的2D測(cè)試相比,所需的時(shí)間穩(wěn)定性要求更為嚴(yán)格。處理和重建算法對(duì)3D可獲得的空間分辨率也有重大影響。

  MicroCT的3D空間分辨率測(cè)試用——Micro-CT Bar Pattern NANO Phantom

  評(píng)估3D空間分辨率的一個(gè)很好的工具是可用德國(guó)QRM GmbH獲得的Micro-CT Bar Pattern NANO Phantom 體模包含兩個(gè)放置在正交位置的硅芯片,包圍了1至10μm的多個(gè)分辨率測(cè)試圖案。"使用QRM公司的MN099_3D空間分辨率"中,模體的使用以SkyScan 1272臺(tái)式高分辨率微CT為例。可選地,ASTM E 1695-95包含基于均勻圓柱狀測(cè)試對(duì)象(例如鋁銷)的掃描的測(cè)試方法。3D空間分辨率通過(guò)調(diào)制傳遞函數(shù)進(jìn)行量化。另外,給出了確定對(duì)比靈敏度的指令。來(lái)自QRM GmbH的Bar Pattern NANO Phantom掃描的重建切片,使用SkyScan 1276高分辨率體內(nèi)微型CT進(jìn)行了掃描,圖像像素尺寸為2.8μm。

QRM-MicroCT-Barpattern-NANO微型CT測(cè)試模體,MicroCT-Barpattern-NANO納米顯微CT柱狀測(cè)試技術(shù)參數(shù):

柱狀部分:

直徑:5.2 mm

總長(zhǎng):19.1 mm

材料:致密塑料

芯片部分:

直徑:2.96 mm

總長(zhǎng):0.66 mm

材料:硅

芯片上圖樣尺寸范圍:1μm至10μm

圖樣深度:5μm至15μm

對(duì)比材料:硅/空氣

QRM-MicroCT-Barpattern-NANO微型CT測(cè)試模體,MicroCT-Barpattern-NANO納米顯微CT柱狀測(cè)試卡芯片上有一個(gè)傾斜的邊緣(字母“L”字樣)以及一個(gè)西門子星卡圖樣(呈放射狀)。不同的圖樣結(jié)構(gòu)均以這樣的方式排布于芯片上,從而使用戶僅通過(guò)一次曝光和測(cè)量就可以對(duì)整個(gè)芯片的中心以及外圍的空間分辨率做出評(píng)估。

作為我們流行的MicroCT-BarPattern-Phantom的進(jìn)一步發(fā)展,我們現(xiàn)在推出BarPattern-NANO!


QRM-MicroCT-Barpattern-NANO微型CT測(cè)試模體,MicroCT-Barpattern-NANO納米顯微CT柱狀測(cè)試卡

技術(shù)指標(biāo)

基礎(chǔ)材料:固體塑料(切屑放在空氣中的支撐件上-壁厚> 0.3 mm)
模體直徑:5.2毫米
高度:19毫米
硅芯片的措施:3 x 3 x 0.66毫米
芯片上的結(jié)構(gòu)(分辨率):分別為1至10 μm。500至50 LP / mm
芯片材質(zhì):
圖案對(duì)比硅/空氣
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