PFA花籃
PFA花籃（PFA wafer Cassette）又名清洗花藍(lán)，特氟龍卡匣，特氟龍晶舟盒，特氟龍晶圓盒為承載半導(dǎo)體晶圓片/硅片的容器，耐酸耐堿耐腐蝕(強(qiáng)酸、強(qiáng)氟酸、強(qiáng)堿)，能做激光雕刻，能夠安裝RFID。保持載體和物料的跟蹤。
主要用于半導(dǎo)體蝕刻部門(mén)之酸堿制程中使用、傳送晶圓。我司PFA花籃，進(jìn)入化學(xué)酸、堿蝕刻制程中，可搭配PFA把手使用。
二、參數(shù)
名稱 | 規(guī)格 | 耐溫性 | 應(yīng)用 |
PFA花籃 PP Cassette | 2寸 | -200~260℃ | 酸堿傳輸制程 |
4寸 | |||
6寸 |
三、
特點(diǎn)
1.耐腐蝕：耐受強(qiáng)酸強(qiáng)堿
2.搭配可活動(dòng)把手，用于晶圓芯片清洗運(yùn)輸
3.耐高低溫：-200~260℃
4.耐絕緣：介電性能與溫度、頻率無(wú)關(guān)；
5.防污染：本底值低，金屬元素鉛鈾含量小于0.01ppb；
6.低的溶出和析出，確保晶圓芯片無(wú)污染
7.化學(xué)性能穩(wěn)定
