低成本-高精度
Filmetrics的 Profilm3D/Profilm3D-200讓3D光學(xué)輪廓測(cè)量的價(jià)格變得更加能夠接受。Profilm3D使用垂直干涉掃描(WLI)與高精度的相位干涉(PSI)技術(shù)。以前所未有的價(jià)格實(shí)現(xiàn)次納米級(jí)的表面形貌研究。
標(biāo)準(zhǔn)配置
1、自動(dòng)XY移動(dòng)平臺(tái)
2、100mmx100mm移動(dòng)范圍 (Profilm3D)
3、200mmx200mm移動(dòng)范圍(Profilm3D-200)
4、100mm自動(dòng)聚焦范圍
5、4孔物鏡轉(zhuǎn)臺(tái)
6、+/-5°水平可調(diào)樣品臺(tái)
7、業(yè)界領(lǐng)先的500um壓電陶瓷行程
8、業(yè)界領(lǐng)先的10倍物鏡下2mm視場(chǎng)范圍
參數(shù): Profilm3D
XY樣品臺(tái)移動(dòng)范圍:100mm x 100mm
樣品寬度:265mm
設(shè)備尺寸:WxDxH:305mm x305mmx550mm
設(shè)備重量:15kg
參數(shù): Profilm3D-200
XY樣品臺(tái)移動(dòng)范圍:200mm x 200mm
樣品寬度:365mm
設(shè)備尺寸，WxDXH:406mm x 406mmx550mm
設(shè)備重量:22kg
