U-III表面粒子計數(shù)器：突破0.1微米檢測極限，重新定義半導體潔凈度標準。核心技術創(chuàng)新納米級檢測能力U-III搭載HeNe激光傳感器，分辨率達0.1微米，支持0.1-5.0微米顆粒粒徑的六通道分類統(tǒng)計（0.1/0.2/0.3/1.0/3.0/5.0μm），覆蓋半導體制造中對超細微粒的嚴苛檢測需求。靜態(tài)采樣模式：通過優(yōu)化氣流控制，減少測量誤差，提升數(shù)據(jù)穩(wěn)定性。智能化設計與操作體驗7英寸高分辨率觸控屏：支持實時數(shù)據(jù)可視化與交互操作，簡化流程。雙電池熱插拔系統(tǒng)?：支持連續(xù)生產場景下的不間斷作業(yè)，電池更換無需停機。USB數(shù)據(jù)接口與軟件升級?：便捷導出檢測報告，并可通過固件更新持續(xù)優(yōu)化性能。行業(yè)應用與效益提升制造效率減少50%自凈時間?：通過量化表面污染數(shù)據(jù)，縮短設備維護周期（PM周期），提升產線吞吐量。延長MTBC（平均無故障周期）：結合顆?？刂撇呗?，關鍵設備可靠性提升4倍以上。覆蓋高潔凈場景半導體制造：晶圓表面、機臺內腔等關鍵區(qū)域的潔凈度驗證。精密光學與電子：液晶面板、光學鏡片組件、醫(yī)療器械的表面污染控制。符合國際標準產品嚴格遵循ISO-14644-9表面粒子控制規(guī)范，為全球半導體廠商提供標準化檢測工具。
該系列設備通過量化表面污染數(shù)據(jù)，為半導體制造中的過程控制提供標準化依據(jù)，從而優(yōu)化生產良率和產品可靠性。傳感器：第七代雙激光窄光檢測器，壽命>200000次測量粒徑：A 0.3um、2.5um、10um；B 0.3um、(0.5/1.0/2.5/5.0)um、10um；C 0.3um、0.5um、1.0um、2.5um、5.0m、10um；D 0.5um、1.0um、1.5um、2.0um、2.5um、3.0um；E 0.5um、1.0um、3.0um、5.0um、10.0um、25.0um；F 0.10um、0.2um、0.25um、0.5um、0.7um、1.0 μm;粒徑分布誤差：≤±30%濃度示值誤差：≤±30%重復相對偏差：≤±10%FS重疊誤差：當每立方英尺2,000,000個粒子時小于5%氣體檢測：可同時檢測氣體濃度，支持1-3個各種類型的氣體傳感器溫度范圍：-40 ～ 120℃檢定標準：計數(shù)報告符合GB/T16292-1996及ISO14644-1標準或GB/T6167-2007 JJF1190-2008氣泵流速：2.83L/min，28.3L/min（可選）；采樣時間：3、6、9、12、15、30、60秒（可選）；檢測模式：數(shù)量模式；質量模式； 凈效模式；三種檢測模式可切換檢測方式：定時檢測、循環(huán)檢測可設置 報警方式：自定義數(shù)量報警值、質量報警值限值報警：RS485信號報警或外接聲光報警器法 規(guī) 性：權限管控、審計追蹤、電子記錄等合 規(guī) 性：符合ISO 21501-4，CE，JIS B9921合 規(guī) 性：符合21 CFR Part 11通訊接口：RS232、R485、LAN-USB
