世界首個集材料生長、器件制備、測試分析為一體的納米領(lǐng)域大科學(xué)裝置——納米真空互聯(lián)綜合實驗站正在我國江蘇蘇州工業(yè)園區(qū)建設(shè)。這個實驗站相當(dāng)于在太空建設(shè)了一個全真空的納米器件研發(fā)平臺。
正在建設(shè)中的這個納米實驗站是目前世界上最大的真空互聯(lián)科研裝置。其總體方案是：用總長近500米的超高真空管道，將上百臺用于材料生長、器件制備、測試分析的大型儀器設(shè)備互聯(lián)，實現(xiàn)樣品在不同設(shè)備之間傳送時其表面不被氧化、沾污，不被外界大氣環(huán)境所破壞。中科院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所研究員、納米真空互聯(lián)實驗站常務(wù)副總指揮丁孫安說，實驗站通過超高空間分辨、時間分辨、能量分辨、質(zhì)量分辨等的高端能力儀器設(shè)備，對物質(zhì)的“本征性質(zhì)”進(jìn)行研究，從而實現(xiàn)量子材料的設(shè)計、制備和表征，后摩爾時代器件加工和測試分析，同時開展新材料、新工藝、新結(jié)構(gòu)和新功能的開發(fā)和研究，以及形成第三代半導(dǎo)體工藝包。
“這個實驗裝置是在類似太空的全真空環(huán)境下的納米器件研發(fā)平臺，相當(dāng)于把現(xiàn)有的加工設(shè)備統(tǒng)一搬到太空。”丁孫安說。
納米真空互聯(lián)實驗站是依托中科院蘇州納米所，聯(lián)合清華大學(xué)薛其坤院士團(tuán)隊、中科院大連化學(xué)物理研究所包信和院士團(tuán)隊建設(shè)的。一期建設(shè)由中科院、江蘇省、蘇州市和蘇州工業(yè)園區(qū)共建，預(yù)計2018年建成，建設(shè)經(jīng)費3.2億元。一期建成后將連接30多臺設(shè)備，形成100米的真空管道。整個實驗站的總預(yù)算是15億元。
蘇州工業(yè)園區(qū)是全球納米領(lǐng)域具有代表性的八大產(chǎn)業(yè)區(qū)域之一。中科院納米所所長楊輝說，在此建設(shè)納米真空互聯(lián)實驗站，是力圖通過真空條件下的互聯(lián)集成和若干重大項目驗證，突破現(xiàn)有儀器設(shè)備的功能限制，實現(xiàn)材料制備、測試分析與微納加工工藝等方面協(xié)同效應(yīng)，為科研和戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供先進(jìn)的、開放性的平臺。
