金相顯微鏡(metallurgical microscope)是用入射照明來觀察金屬試樣表面(金相組織)的顯微鏡，它是將光學顯微鏡技術、光電轉(zhuǎn)換技術、計算機圖像處理技術完美地結(jié)合在一起而開發(fā)研制成的高科技產(chǎn)品，可以在計算機上很方便地觀察金相圖像，從而對金相圖譜進行分析，評級等以及對圖片進行輸出、打印。金相顯微鏡是光學顯微鏡的一種，分辨率相對電鏡小，微米級分辨率，放大倍數(shù)小，但它易于操作、視場較大、價格相對低廉。
掃描電鏡一種新型的電子光學儀器。它具有制樣簡單、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬、圖像的分辨率高、景深大等特點。數(shù)十年來，掃描電鏡已廣泛地應用在生物學、醫(yī)學、冶金學等學科的領域中，促進了各有關學科的發(fā)展。掃描電鏡的特點：電鏡，圖像分辨率高，納米級分辨率，放大倍數(shù)可調(diào)且大，另一個重要特點是景深大，圖象富立體感。
兩種顯微鏡存在很大的區(qū)別，主要有以下幾方面：
一、光源不同：金相顯微鏡采用可見光作為光源，掃描電鏡采用電子束作為光源成像。
二、原理不同：金相顯微鏡利用幾何光學成像原理進行成像，掃描電鏡利用高能量電子束轟擊樣品表面，激發(fā)出樣品表面的各種物理信號，再利用不同的信號探測器接受物理信號轉(zhuǎn)換成圖像信息。
三、分辨率：金相顯微鏡因為光的干涉與衍射作用，分辨率只能局限于0.2-0.5um之間。掃描電鏡因為采用電子束作為光源，其分辨率可達到1-3nm之間，因此金相顯微鏡的組織觀察屬于微米級分析，掃描電鏡的組織觀測屬于納米級分析。
四、景深：一般金相顯微鏡的景深在2-3um之間，因此對樣品的表面光滑程度具有極高的要求，所以制樣過程相對比較復雜。掃描電鏡的景深則可高達幾個。
