摘要
本實(shí)用新型涉及的掃描電子顯微鏡使用的探針原位電學(xué)特性測量裝置，包括一個(gè)或多個(gè)原位電學(xué)特性分測量器、電子源、電學(xué)性質(zhì)測試儀器和內(nèi)裝加熱器的樣品臺；所述多個(gè)原位電學(xué)特性分測器以樣品臺為中心環(huán)繞樣品臺均勻分布，其結(jié)構(gòu)分別為：一鎢探針固定在金屬測量桿的一端，金屬測量桿另一端套裝絕緣套并與三維調(diào)節(jié)桿相連，一測量導(dǎo)線一端與金屬測量桿相連，另一端套裝導(dǎo)線絕緣套并穿過真空室與電學(xué)性質(zhì)測試儀器電連接；電子源位于樣品臺的正上方，之間設(shè)置有電磁透鏡；可實(shí)現(xiàn)對掃描電鏡所觀察到的微區(qū)范圍進(jìn)行直接的電學(xué)性質(zhì)的多功能測試，具有性能可靠，接觸良好的、安裝簡便、結(jié)構(gòu)簡單和使用安全的特點(diǎn)，拓展了掃描電鏡的功能。
掃描電子顯微鏡使用的探針原位電學(xué)特性測量裝置
一種掃描電子顯微鏡上使用的探針原位電學(xué)特性測量裝置，其特征在于，該探針原位電學(xué)特性測量裝置包括一個(gè)或多個(gè)原位電學(xué)特性分測量器、電子源（１２）、電學(xué)性質(zhì)測試儀器（１５）和內(nèi)裝加熱器（９）的樣品臺（８）；所述原位電學(xué)特性分測器的結(jié)構(gòu)為：一鎢探針（１）固定在金屬測量桿（３）的一端，金屬測量桿（３）另一端套裝絕緣套（４）并與三維調(diào)節(jié)桿（５）相連，一測量導(dǎo)線（６）一端與金屬測量桿（３）相連，另一端套裝導(dǎo)線絕緣套（７）并穿過真空室（１１）與電學(xué)性質(zhì)測試儀器（１５）電連接；電子源（１２）位于樣品臺（８）的正上方，之間設(shè)置有電磁透鏡（１３）。
詳細(xì)介紹
| 專利號: | 200320100222 |
| 申請日: | 2003年10月10日 |
| 公開/公告日: | |
| 授權(quán)公告日: | 2006年1月11日 |
| 申請人/專利權(quán)人: | 中國科學(xué)院物理研究所 |
| 國家/省市: | 北京(11) |
| 郵編: | 100080 |
| 發(fā)明/設(shè)計(jì)人: | 顧長志、竇艷、郭烈陽 |
| 代理人: | 王鳳華 |
| 專利代理機(jī)構(gòu): | (11280) |
| 專利代理機(jī)構(gòu)地址: | () |
| 專利類型: | 發(fā)明 |
| 公開號: | 0000000 |
| 公告日: | 2006年1月11日 |
| 授權(quán)日: | 20 |
| 公告號: | 2751297 |
| 優(yōu)先權(quán): | |
| 審批歷史: | |
| 附圖數(shù): | 1 |
| 頁數(shù): | 4 |
| 權(quán)利要求項(xiàng)數(shù): | 1 |
