摘要：一種晶圓片的定位裝置及定位方法，定位裝置包括定位臺和驅(qū)動裝置，定位臺的下部設(shè)有吸附裝置，在定位臺的一側(cè)設(shè)有光源，在定位臺的另一側(cè)設(shè)有光電傳感器，光電傳感器與控制器電連接，定位臺的旁邊設(shè)有可水平直線移動的機(jī)械手，定位臺的中心位于機(jī)械手移動的軌跡上。光電傳感器包括多個光敏元，光電傳感器每隔一段時間采集光信號，將采集到的光信號轉(zhuǎn)化為電信號送到控制器中。本發(fā)明的定位裝置結(jié)構(gòu)簡單，定位方法巧妙，能夠完成晶圓片準(zhǔn)確的定位，并且具有很高的效率。
- 專利類型發(fā)明專利
- 申請人深圳市矽電半導(dǎo)體設(shè)備有限公司;
- 發(fā)明人王建波;王勝利;胡泓;
- 地址518000廣東省深圳市龍崗區(qū)龍城清林西路深圳市留學(xué)人員創(chuàng)業(yè)園一園412室
- 申請?zhí)?/b>CN200710151271.7
- 申請時間2007年09月18日
- 申請公布號CN100508158C
- 申請公布時間2009年07月01日
- 分類號H01L21/68(2006.01)I;
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