摘要：本實用新型公告了一種三維調(diào)節(jié)座，包括X向微調(diào)組件、Y向微調(diào)組件和Z向微調(diào)組件、固定座、關(guān)節(jié)軸承；所述X向微調(diào)組件與關(guān)節(jié)軸承內(nèi)圈固定連接，所述關(guān)節(jié)軸承外圈與固定座連為一體，所述X向微調(diào)組件一端用于固定待調(diào)節(jié)物、另一端為X向調(diào)節(jié)器，所述Y向微調(diào)組件一端頂著X向微調(diào)組件，另一端為Y向調(diào)節(jié)器，所述Z向微調(diào)組件一端頂著X向微調(diào)組件，另一端為Z向調(diào)節(jié)器。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單、靈敏度高、定位精度高。
- 專利類型實用新型
- 申請人深圳市矽電半導(dǎo)體設(shè)備有限公司;
- 發(fā)明人王勝利;康春鳳;劉振輝;
- 地址518000廣東省深圳市龍崗區(qū)留學(xué)生創(chuàng)業(yè)園1棟412室
- 申請?zhí)?/b>CN200820095791.0
- 申請時間2008年07月25日
- 申請公布號CN201233886Y
- 申請公布時間2009年05月06日
- 分類號H01L21/00(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I;G01R1/02(2006.01)I;
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